[发明专利]一种降低多晶硅位错的铸锭方法在审
| 申请号： | 201510484150.9 | 申请日： | 2015-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN105088349A | 公开（公告）日： | 2015-11-25 |
| 发明（设计）人： | 马洋;张卫东;谷守伟;王猛;李利军;关成;赵志宏;朱红勇;申磊;云艳茹;王岩 | 申请（专利权）人： | 内蒙古中环光伏材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 010070 内蒙古自治*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 降低 多晶 硅位错 铸锭 方法 | ||
1.一种降低多晶硅位错的铸锭方法，本方法适用于顶部加热器与侧部加热器共同加热的铸锭炉，边角长晶结束后，跳转至退火工步，其特征在于：退火工步1时，顶部加热器的温度由1370℃降低至1310℃，退火工步2时，顶部加热器的温度由1370℃降低至1210℃，退火工步3时，顶部加热器的温度由0℃提升至1110℃，退火工步4时，顶部加热器的温度由0℃提升至1000℃，退火工步5时，顶部加热器的温度由0℃提升至700℃，之后进入冷却阶段。
2.如权利要求1所述的降低多晶硅位错的铸锭方法，其特征在于，退火工步1时，隔热笼的开度由0mm提升至135mm，退火工步2时，隔热笼的开度由0mm提升至65mm，退火工步3时，隔热笼的开度由0mm提升至40mm。
3.如权利要求1或2所述的降低多晶硅位错的铸锭方法，其特征在于，退火工步1时，侧部加热器的温度由1370℃降低至0℃，退火工步2时，顶部加热器的温度由1370℃降低至0℃，退火工步3时，侧部加热器的功率由28kw降低至0kw。
4.如权利要求1或2所述的降低多晶硅位错的铸锭方法，其特征在于，退火工步1时，退火时间由0.75h提升至2h，退火工步2时，退火时间由1.5h提升至2h，退火工步3时，退火时间由1.5h提升至2h，退火工步4时，退火时间由0h提升至2h，退火工步5时，退火时间由0h提升至2h。
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