[发明专利]一种基板切割系统

权利要求书

1.一种基板切割系统，其特征在于，包括：切割槽、载物台、切割刀组件、注水泵及出水泵；所述注水泵用于向所述切割槽内注水，所述出水泵用于向所述切割槽内抽水，所述切割槽在所述注水泵与出水泵的作用下形成可流动的水环境；所述载物台为可移动的基台，用于将待切割的基板搬送至所述切割槽内的水环境中；所述切割刀组件对所述基板进行切割。

2.根据权利要求1所述的基板切割系统，其特征在于，所述注水泵通过第一管路与切割槽连接，所述出水泵通过第二管路与切割槽连接，所述注水泵与出水泵之间通过第三管路连接；所述第三管路上设置有离心分离槽，所述离心分离槽上设有排污阀。

3.根据权利要求2所述的基板切割系统，其特征在于，所述第三管路上还设有蓄水槽，所述蓄水槽位于所述离心分离槽与注水泵之间。

4.根据权利要求3所述的基板切割系统，其特征在于，所述第三管路上还设有过滤器，所述过滤器位于所述蓄水槽与注水泵之间，用于过滤来自所述蓄水槽的水。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的基板切割系统，其特征在于，所述载物台位于切割槽的下方，且在载物台底部设置有驱动装置，所述驱动装置用于驱动所述载物台升降移动；所述切割槽的底部设有开口；所述基板在所述载物台的带动下穿过所述开口且被搬送至所述切割槽内的水环境中。

6.根据权利要求5所述的基板切割系统，其特征在于，所述载物台通过吸附部件固定所述基板，所述吸附部件包括：切割托盘及多个气管，所述切割托盘设置于载物台上，且在切割托盘上设有与所述多个气管相连的吸附孔；所述多个气管汇集于一个总气路，所述总气路上连接有供气装置和吸气装置。

7.根据权利要求6所述的基板切割系统，其特征在于，所述载物台内贯通设置有多个用于容纳气管的通道，所述通道的一端与所述切割槽连通，另一端与出水泵连通。

8.根据权利要求6所述的基板切割系统，其特征在于，所述切割托盘上设有对位部件，所述对位部件用于限位所述基板的位置。

9.根据权利要求6所述的基板切割系统，其特征在于，所述切割托盘上设有带孔隔垫，所述带孔隔垫铺设在基板的下方。

10.根据权利要求1所述的基板切割系统，其特征在于，所述切割刀组件包括：切割刀轮和切割刀座，所述切割刀轮设置于切割刀座上；所述切割刀座位于所述切割槽的上方，用于带动所述切割刀轮升降移动，且在所述切割刀座的底部设有挡板。