[发明专利]光源装置、照明装置、曝光装置和装置制造方法

权利要求书

1.一种光源装置，其特征在于包括：

被配置为从发光区域发射光束的光源；和

被配置为会聚光束而允许光束出射到外面的会聚器，

其中，所述发光区域具有旋转对称的发光强度分布，

会聚器包括四个或更多个反射镜，所述四个或更多个反射镜分别具有用于反射从所述发光区域发射的光束的反射表面，

每个反射表面被形成为关于被定义为所述发光区域的旋转对称轴的光轴旋转对称，并且所述四个或更多个反射镜被设置为围绕光源，

所述四个或更多个反射镜包含反射表面为椭圆形的椭圆表面反射镜和反射表面为球面的球面反射镜，并且，

椭圆表面反射镜和球面反射镜沿所述旋转对称轴的方向被交替布置，并且，被一个球面反射镜反射的光束进一步被跨着所述发光区域相对设置的一个椭圆表面反射镜反射，而允许光束出射到外面。

2.根据权利要求1所述的光源装置，其中，球面反射镜在所述发光区域中具有中心点，并且，椭圆表面反射镜在所述发光区域中具有所述球面的焦点。

3.根据权利要求1所述的光源装置，其中，一个球面反射镜在包含所述旋转对称轴的平面内反射来自所述发光区域的光束的角度θ′的范围和一个椭圆表面反射镜在包含所述旋转对称轴的该平面内进一步反射由一个球面反射镜反射的光束的角度θ的范围满足θ≥θ′的关系。

4.根据权利要求1所述的光源装置，其中，光源具有用于形成所述发光区域的阴极和阳极。

5.根据权利要求4所述的光源装置，其中，当一个椭圆表面反射镜和一个球面反射镜跨着所述发光区域相邻时，椭圆表面反射镜的与球面反射镜相邻的一侧的开口端从所述发光区域向球面反射镜伸出等于阴极与阳极之间的距离的1/2或更长的距离。

6.根据权利要求4所述的光源装置，其中，光源在包含所述旋转对称轴的平面中向阴极发射光束的角度等于光源在包含所述旋转对称轴的该平面中向阳极发射光束的角度。

7.一种照明装置，其特征在于包括：

根据权利要求1所述的光源装置；和

光学积分器，从光源装置发射的光束入射在所述光学积分器上。

8.根据权利要求7所述的照明装置，还包括：

柱状波导，所述柱状波导设置在会聚器与光学积分器之间，并且通过会聚器会聚的光束入射在所述柱状波导上；和

设置在波导与光学积分器之间以将从波导发射的光束转换成准直光束的光学系统。

9.根据权利要求8所述的照明装置，还包括：

能拆卸地设置在所述光学系统与所述光学积分器之间以改变入射于光学积分器上的光束的形状的光束转换器。

10.一种将在原稿上形成的图案的图像转印到基板上的曝光装置，所述曝光装置包括：

根据权利要求7所述的照明装置，

其中，所述照明装置照射作为被照射对象的原稿。

11.一种光源装置，包括：

被配置为从发光区域发射光束的光源；和

被配置为会聚光束而允许光束出射到外面的会聚器，

其中，所述发光区域具有旋转对称的发光强度分布，

所述会聚器包括多个反射镜，所述多个反射镜分别具有用于反射从所述发光区域发射的光束的反射表面，

每个反射表面被形成为关于被定义为所述发光区域的旋转对称轴的光轴旋转对称，并且多个反射镜被设置为围绕光源，

所述多个反射镜中的至少两个为椭圆表面反射镜，所述椭圆表面反射镜的反射表面为在所述发光区域中具有焦点的椭圆形并且所述椭圆表面反射镜能沿所述旋转对称轴的方向移动。