[发明专利]用于多晶硅生产中含氯硅烷废气淋洗废水的专用处理系统及处理方法

权利要求书

1.用于多晶硅生产中含氯硅烷废气淋洗废水的专用处理系统，其特征在于：含氯硅烷废气淋洗产生的废水(1)从污水调节罐(2)进口端进入，所述污水调节罐(2)的出口端与污泥池(4)的一个入口端连接，所述污泥池(4)出口端与压滤机(5)入口端连接，所述压滤机(5)的一个出口端与中和罐(7)的一个入口端连接，压滤机(5)另一个出口端排出废渣(6)，所述中和罐(7)出口端与过滤器(8)入口端连接，所述过滤器(8)的一个出口端与出水罐(10)入口端连接，过滤器(8)另一个出口端排出滤渣(9)，所述滤渣(9)通过污泥池(4)的第二个入口端进入污泥池(4)内，所述出水罐(10)一个出口端与盛纳指标合格水容器连接，出水罐(10)另一个出口端与应急水池(11)入口端连接，所述应急水池(11)出口端与污泥池(4)的第三个入口端连接，浓硫酸储罐(3)的一个出口端与污泥池(4)的第四个入口端连接，浓硫酸储罐(3)的另一个出口端与中和罐(7)的另一个入口端连接。

2.如权利要求1所述的用于多晶硅生产中含氯硅烷废气淋洗废水的处理方法，其特征在于包括下述步骤：

1)初调节：含氯硅烷废气淋洗产生的废水(1)首先进入污水调节罐(2)进行收集，在污水调节罐(2)内进行水质水量的调节；

2)一次中和：经调节后的废水，从污水调节罐(2)的罐底进入污泥池(4)，在污泥池(4)内加入来自浓硫酸储罐3的浓硫酸进行中和处理，调节废水PH为8.5左右；

3)一次过滤：中和后的废水经过压滤机(5)进行压滤，实现固液分离，废渣(6)外运处理，滤液进入中和罐(7)；

4)二次中和：根据中和罐(7)内滤液的pH值，进一步加入来自浓硫酸储罐(3)的浓硫酸中和调节滤液的pH为6-9；

5)二次压滤：中和罐7的滤液通过过滤器(8)进行再次过滤，所述过滤器(8)的出水进入出水罐(10)，过滤下来的残渣(9)进入污泥池(4)，出水罐(10)的出水经过pH和悬浮物检测，合格后外排，不合格的出水进入应急水池(11)，根据运行情况打入污水调节罐(2)再次处理。

3.根据权利要求2所述的用于多晶硅生产中含氯硅烷废气淋洗废水的处理方法，其特征在于：上述步骤2)和步骤4)中，一次中和与二次中和均采用浓度为98％的浓硫酸。

4.根据权利要求1所述的用于多晶硅生产中含氯硅烷废气淋洗废水的专用处理系统，其特征在于：所述污泥池(4)内设有使其内废水中和完全的搅拌机。

5.根据权利要求1所述的用于多晶硅生产中含氯硅烷废气淋洗废水的专用处理系统，其特征在于：所述压滤机(5)为厢式压滤机。

6.根据权利要求1所述的用于多晶硅生产中含氯硅烷废气淋洗废水的专用处理系统，其特征在于：所述过滤器(8)为液体薄膜过滤器。