[发明专利]一种硅片载具有效
| 申请号： | 201510486231.2 | 申请日： | 2015-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN104992917B | 公开（公告）日： | 2018-04-24 |
| 发明（设计）人： | 滕勇;彭应龙;周毅 | 申请（专利权）人： | 乐山无线电股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L21/68;H01L21/683 |
| 代理公司： | 四川力久律师事务所51221 | 代理人： | 熊晓果,林辉轮 |
| 地址： | 614000 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 | ||
1.一种硅片载具，其特征在于，包括：
载具主体(1)，用于承放硅片，所述载具主体一侧留有开口，用于将硅片放入所述载具主体内部；
至少一个固定单元，所述固定单元设置在所述载具主体的开口侧，包括
V形槽固定条(2)，所述V形槽固定条用于卡住硅片位于开口侧的边缘端以固定硅片；
至少一个定位调节件(5)，所述定位调节件(5)用于调整硅片的紧固程度；
压片条(6)，位于所述V形槽固定条(2)背面并与所述V形槽固定条(2)通过相同紧固件固定于所述载具主体(1)上，所述定位调节件(5)设置于与所述压片条(6)上。
2.根据权利要求1所述的一种硅片载具，其特征在于，包括2个固定单元。
3.根据权利要求1所述的一种硅片载具，其特征在于，还包括旋转单元，所述旋转单元活动连接所述载具主体，所述载具主体和所述固定单元通过所述旋转单元做同轴转动。
4.根据权利要求3所述的一种硅片载具，其特征在于，所述旋转单元包括2个活动悬杆(3)，所述活动悬杆(3)分别活动连接于所述载具主体的两侧壁相同位置上，在所述侧壁上设置有至少2个旋转定位孔(4)；
所述旋转定位孔(4)与所述活动悬杆(3)和所述载具主体的连接点等距，且任一相邻2个旋转定位孔(4)所构成的圆弧的弧度相等；
所述活动悬杆(3)上设置有定位孔(32)，所述定位孔(32)与所述旋转定位孔(4)位置重叠，通过使用紧固件穿过所述定位孔(32)和旋转定位孔(4)将所述活动悬杆(3)和载具主体(1)及固定单元固定。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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