[发明专利]一种厚铜板的外层蚀刻方法有效
| 申请号： | 201510487442.8 | 申请日： | 2015-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN105208781B | 公开（公告）日： | 2018-07-06 |
| 发明（设计）人： | 陈广龙;白会斌;胡志勇 | 申请（专利权）人： | 江门崇达电路技术有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/06 | 分类号： | H05K3/06 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 冯筠 |
| 地址： | 529000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蚀刻 厚铜板 外层蚀刻 蚀刻液 均匀性好 密集区域 蚀刻线 喷淋 上喷 制造 配合 | ||
1.一种厚铜板的外层蚀刻方法，所述厚铜板包括第一表面和第二表面，其特征在于，所述外层蚀刻包括以下步骤：
S1一次蚀刻：使厚铜板水平经过蚀刻缸，且第一表面朝上，第二表面朝下；部分蚀刻液由上往下喷向第一表面，部分蚀刻液由下往上喷向第二表面；其中蚀刻液中的[Cl-]为165-215g/L，[Cu2+]为125-155g/L；
S2一次微蚀：用微蚀液喷淋厚铜板，然后再用水清洗厚铜板；
S3二次蚀刻：使厚铜板水平经过蚀刻缸，且第二表面朝上，第一表面朝下；部分蚀刻液由上往下喷向第二表面，部分蚀刻液由下往上喷向第一表面；其中蚀刻液中的[Cl-]为165-215g/L，[Cu2+]为125-155g/L；
S4二次微蚀：用微蚀液喷淋厚铜板，然后再用水清洗厚铜板。
2.根据权利要求1所述一种厚铜板的外层蚀刻方法，其特征在于，步骤S1和S3中，蚀刻液由上往下喷的压力为2-3Kg/cm2。
3.根据权利要求2所述一种厚铜板的外层蚀刻方法，其特征在于，步骤S1和S3中，蚀刻液由下往上喷的压力为1-2Kg/cm2。
4.根据权利要求3所述一种厚铜板的外层蚀刻方法，其特征在于，步骤S1和S3中，厚铜板以2.5-3.5m/min的速度经过蚀刻缸。
5.根据权利要求4所述一种厚铜板的外层蚀刻方法，其特征在于，步骤S1和S3中，蚀刻液的温度为48-52℃。
6.根据权利要求1所述一种厚铜板的外层蚀刻方法，其特征在于，步骤S1和S3中，蚀刻液的pH为8.0-8.8。
7.根据权利要求6所述一种厚铜板的外层蚀刻方法，其特征在于，步骤S1和S3中，蚀刻液的比重为1.192-1.202。
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