[发明专利]一种真空下多探针摩擦磨损测试及原位形貌探测系统有效
| 申请号： | 201510488002.4 | 申请日： | 2015-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN105181501B | 公开（公告）日： | 2018-01-16 |
| 发明（设计）人： | 余丙军;张超杰;钱林茂;陈磊;高健;金晨宁 | 申请（专利权）人： | 西南交通大学 |
| 主分类号： | G01N3/56 | 分类号： | G01N3/56 |
| 代理公司： | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙)51227 | 代理人： | 周永宏,王伟 |
| 地址： | 610031 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 探针 摩擦 磨损 测试 原位 形貌 探测 系统 | ||
1.一种真空下多探针摩擦磨损测试及原位形貌探测系统，其特征在于：包括主体和外部手动驱动装置(9)；所述主体包括腔体上盖(1)、安装在腔体上盖(1)上面的光窗顶盖(2)和安装腔体上盖(1)内部的多探针组件；
所述多探针组件包括多个探针(12)、用于承载探针(12)并携其原位切换定位的运动平板(4)、连接在运动平板(4)一侧的过渡板(5)、导轨(6)和用于驱动导轨(6)的连接板(7)；所述导轨(6)分别与过渡板(5)和连接板(7)的一端连接；所述连接板(7)的另一端与外部手动驱动装置(9)内部的短轴(8)连接；所述探针(12)设置在运动平板(4)上。
2.根据权利要求1所述的真空下多探针摩擦磨损测试及原位形貌探测系统，其特征在于：所述腔体上盖(1)的内部设有用于安装多探针组件的凹槽(1.1)；腔体上盖(1)的外部设有用于安装光窗顶盖(2)的凸起(1.2)。
3.根据权利要求1所述的真空下多探针摩擦磨损测试及原位形貌探测系统，其特征在于：所述过渡板(5)的截面为“L”型。
4.根据权利要求1所述的真空下多探针摩擦磨损测试及原位形貌探测系统，其特征在于：所述腔体上盖(1)的另一面设有过渡模块(11)。
5.根据权利要求1所述的真空下多探针摩擦磨损测试及原位形貌探测系统，其特征在于：所述探针(12)数量为2-3。
6.根据权利要求4所述的真空下多探针摩擦磨损测试及原位形貌探测系统，其特征在于：所述的过渡模块(11)为圆柱盖形结构，盖顶设有圆形通孔；过渡模块(11)上端设有橡胶密封圈凹槽II(11.1),下端开有T型孔(11.2)。
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