[发明专利]一种低能耗微定位驱动器有效
| 申请号： | 201510490788.3 | 申请日： | 2015-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN105174199B | 公开（公告）日： | 2018-03-09 |
| 发明（设计）人： | 赵剑;胡平 | 申请（专利权）人： | 南京衡平电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B81B5/00 | 分类号： | B81B5/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 能耗 定位 驱动器 | ||
【权利要求书】：
1.一种低能耗静电微定位驱动器，其特征在于，它主要包括固定梳齿(4)、两端固定于基底(3)的全柔性梁(1)，其中可动梳齿(2)与承载平台(5)通过构件(2a)连接成一体，在电压激励下，可动梳齿(2)带动全柔性梁横向运动，并发生快速翻转到预定位置，在施加异向驱动电压时，驱动器迅速跳转返回初始状态；
其中，所述全柔性梁(1)的构型为余弦线、弧形线或拱形线；
所述全柔性梁(1)和可动梳齿(2)的连接通过弹簧(2a)，且连接点与固定点的距离大于L/4和小于L/2，其中L为全柔性梁(1)的跨度。
2.根据权利要求1所述的一种低能耗静电微定位驱动器，其特征在于：所述全柔性梁(1)、可动梳齿(2)和固定梳齿(4)均为金属材料，固定基底(3)为绝缘材料。
3.根据权利要求1所述的一种低能耗静电微定位驱动器，其特征在于：所述全柔性梁(1)的另一侧固定有可移动平台(5)。
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