[发明专利]用于半导体芯片的清洗夹具

权利要求书

1.一种用于半导体芯片的清洗夹具，其特征在于，包括：

底座，设置有用于放置芯片的V型槽，当所述芯片放置于所述V型槽上时，所述芯片的一相对侧边的下边沿抵靠于所述V型槽的侧壁上，并且所述V型槽的底部设置有贯通所述底座的底部的泄流孔；

盖板，用于扣合于所述底座上，以覆盖所述V型槽，并且所述盖板上设置有贯通孔，当所述芯片放置于所述V型槽上时，所述贯通孔对应所述芯片。

2.根据权利要求1所述的清洗夹具，其特征在于，所述清洗夹具还包括固定杆，所述底座和所述盖板上设置有对应的定位孔，当所述盖板扣合于所述底座上，所述固定杆穿入所述定位孔。

3.根据权利要求1或2所述的清洗夹具，其特征在于，所述底座上设置有多个相互间隔开的V型槽，并且所述V型槽在所述底座上延伸预定长度，以用于放置多个芯片。

4.根据权利要求3所述的清洗夹具，其特征在于，所述盖板的下表面间隔设置有向下延伸的挡板，当所述芯片放置于所述V型槽上，所述挡板用于隔开相邻的芯片。

5.根据权利要求4所述的清洗夹具，其特征在于，所述贯通孔间隔设置，并且设置于所述挡板之间，以当所述芯片放置于所述V型槽上时正对所述芯片。

6.根据权利要求4所述的清洗夹具，其特征在于，所述挡板之间的距离比所述芯片沿所述V型槽的延伸方向的长度大0.5mm。

7.根据权利要求4所述的清洗夹具，其特征在于，所述挡板构造为V型，当所述盖板扣合于所述底座上时，所述挡板与所述V型槽匹配。

8.根据权利要求1所述的清洗夹具，其特征在于，所述贯通孔的形状为矩形，并且所述贯通孔的尺寸小于所述芯片的尺寸。

9.根据权利要求1所述的清洗夹具，其特征在于，所述清洗夹具采用聚四氟乙烯材料制成。