[发明专利]一种制备氧化锌微米管的方法有效
| 申请号： | 201510493163.2 | 申请日： | 2015-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN105110363B | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 王亮;陆文强;冯双龙;李昕;李振湖;石彪 | 申请（专利权）人： | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
| 主分类号： | C01G9/02 | 分类号： | C01G9/02 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 尹丽云 |
| 地址： | 400714 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 制备 氧化锌 微米 方法 | ||
1.一种制备氧化锌微米管的方法，其特征在于，包括：
提供一表面旋涂有光刻胶的氮化镓衬底和硝酸锌与六次甲基四按相同配置比例混合得到的混合溶液；
对所述氮化镓衬底旋涂有光刻胶的一面进行光刻处理，在所述氮化镓衬底上制备得到孔阵列，光刻孔直径为2微米至6微米；
将制备有所述孔阵列的所述氮化镓衬底置于所述混合溶液中进行反应，且于所述孔阵列的各孔边沿处制备得到纵向生长的氧化锌微米管，所述氧化锌微米管的管径为2微米至6微米，所述氧化锌微米管的壁厚为1微米至3微米，所述氧化锌微米管的长度为1微米至4微米；
其中，在完成光刻后，还需要对刻有阵列的所述氮化镓衬底进行等离子清洗。
2.根据权利要求1所述的制备氧化锌微米管的方法，其特征在于，所制得的氧化锌微米管的管径由所述孔阵列中每个孔的孔径决定。
3.根据权利要求1所述的制备氧化锌微米管的方法，其特征在于，所制得的氧化锌微米管的管壁厚度由所述孔阵列中每个孔的孔径、混合溶液的浓度以及反应时间决定。
4.根据权利要求1所述的制备氧化锌微米管的方法，其特征在于，所制得的氧化锌微米管的长度由混合溶液的浓度和反应时间决定。
5.根据权利要求3所述的制备氧化锌微米管的方法，其特征在于，进行等离子清洗的方法包括：采用在100W的功率下的空气气氛中，对所述氮化镓衬底进行清洗1-3分钟。
6.根据权利要求1所述的制备氧化锌微米管的方法，其特征在于，在所述混合溶液中制备得到所述氧化锌微米管的方法包括：
将制备有所述孔阵列的氮化镓衬底置于所述混合溶液中3-5小时，并保持反应 温度为90℃恒温。
7.根据权利要求1-5任一项所述的制备氧化锌微米管的方法，其特征在于，所述硝酸锌的溶液浓度为0.5mol/L。
8.根据权利要求6所述的制备氧化锌微米管的方法，其特征在于，所述六次甲基四胺(HMTA)的溶液浓度为0.5mol/L。
9.根据权利要求1-5任一项所述的制备氧化锌微米管的方法，其特征在于，所述光刻胶为s1805光刻胶。
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