[发明专利]物理量传感器、电子设备以及移动体

说明书

本发明提供一种物理量传感器、电子设备以及移动体，其耐冲击且具有优异的机械强度。物理量传感器(1)具有：底基板(2)；可动部(33)；设置在可动部(33)上的多个可动电极指(361～365)；设置在底基板(2)上的固定电极指(381～388)；将可动部(33)固定于底基板(2)的固定部(31、32)，在可动电极指(361～365)中包含有在X轴方向上与固定部(31、32)对置的可动电极指(361、365)，可动电极指(361、365)与固定部(31、32)之间的分离距离小于可动电极指(361～365)与固定电极指(381～388)之间的分离距离，可动电极指(361、365)的宽度大于其他的可动电极指(362、363、364)。

技术领域

本发明涉及一种物理量传感器、电子设备以及移动体。

背景技术

作为物理量传感器，已知一种如下的物理量传感器元件，所述物理量传感器元件具有：固定电极，其被固定配置；可动电极，其以隔开间隔的方式与固定电极对置，并以能够位移的方式被设置，所述物理量传感器元件根据固定电极与可动电极之间的静电电容来对加速度、角速度等的物理量进行检测(例如，参照专利文献1)

例如，专利文献1所记载的物理量传感器元件具有底板部和被底板部所支承的梁结构体。梁结构体具有锚部、质量部、对锚部和质量部进行连结的梁部、设置在质量部上的多个可动电极。此外，专利文献1所记载的物理量传感器元件具有以位于各个可动电极的两侧的方式被设置的多个固定电极。这样的物理量传感器能够对可动电极与固定电极之间的静电电容进行测定，并根据其测定结果来对物理量进行检测。

然而，在专利文献1所记载的物理量传感器元件中，由于可动电极细长且强度较低，因此当施加有较强的应力(冲击)时，存在可动电极与锚部接触而破损的可能性。

专利文献1：日本专利第4238437号公报

发明内容

本发明的目的在于，提供一种耐冲击且具有优异的机械强度的物理量传感器、以及具备该物理量传感器的电子设备以及移动体。

本发明是为了解决上述课题中的至少一部分而被实施的发明，且能够作为以下方式或者应用例而实现。

应用例1

本应用例的物理量传感器具有：底基板；可动部，其能够相对于所述底基板而在第一方向上进行位移；多个可动电极指，所述可动电极指被设置在所述可动部上，且多个所述所述可动电极指沿着所述第一方向被配置；固定电极指，其被设置在所述底基板上，并在所述第一方向上与所述可动电极指对置配置；固定部，其使所述可动部以能够在所述第一方向上进行位移的方式固定于所述底基板，在多个所述可动电极指中包含在所述第一方向上与所述固定部对置的可动电极指，所述对置的可动电极指与所述固定部在所述第一方向上的分离距离小于所述可动电极指与所述固定电极指在所述第一方向上的分离距离，多个所述可动电极指中所述对置的可动电极指的宽度大于其他的可动电极指的宽度。

由此，能够提供一种耐冲击且具有优异的机械强度的物理量传感器。

应用例2

在本应用例的物理量传感器中，优选为，在所述固定部的、在所述第一方向上与所述可动电极指对置的部位中的至少一部分上，设置有截面面积朝向所述可动电极指而逐渐减少的渐减部。

由此，能够制造一种有效地对固定部与可动电极指之间的贴合进行抑制、并具有优异的机械强度的物理量传感器。

应用例3

在本应用例的物理量传感器中，优选为，多个所述可动电极指越远离所述可动部的与所述固定部之间的连接部，宽度变得越小。

由此，能够制造一种有效地对制造时的可动部向底基板的贴合(粘着)进行抑制并具有优异的机械强度的物理量传感器。

应用例4