[发明专利]一种超光滑金属薄膜表面的制备方法

权利要求书

1.一种超光滑金属薄膜表面的制备方法，其特征在于，包括下列步骤：

步骤一、云母软基片的制备

采用机械剥离的方法将云母基片A逐层剥离，直至自然光下观察到分离后的云母片在倾斜角度10°-30°时呈现出绿色时，停止剥离；选取颜色一致的区域，切割获得云母软基片；然后将云母软基片贴在云母基片B上，所述云母软基片的厚度为2μm；

步骤二、金属薄膜制备

在云母软基片表面真空蒸镀一层金属薄膜；

步骤三、三明治夹层结构制备

将基底清洗干净并均匀涂抹一层粘接剂，将步骤二中的云母软基片取下，通过粘接剂与金属薄膜间的初粘力使金属薄膜片均匀地贴附到基底上；固化后形成云母软基片、金属薄膜层及基底的三明治夹层结构；

步骤四、云母软基片的去除

将步骤三中的三明治夹层结构浸泡于溶剂中，用镊子夹持基底，在溶剂中轻微的晃动或是轻柔地拖拽云母软基片，利用溶剂的表面张力去除最外层的云母软基片，得到了超光滑的金属薄膜表面，所述溶剂为无水乙醇或超纯水。

2.根据权利要求1所述的一种超光滑金属薄膜表面的制备方法，其特征在于，步骤1)中所述切割具体为：采用通电加热至300℃的铂丝，将剥离的云母片切割成10-1000mm²的云母软基片。

3.根据权利要求1所述的一种超光滑金属薄膜表面的制备方法，其特征在于，所述金属薄膜的材质为Au、Ag或Pt。

4.根据权利要求1所述的一种超光滑金属薄膜表面的制备方法，其特征在于，所述金属薄膜的材质为Ag；蒸镀高纯度Ag金属膜时，控制加热电流为1.8-2.1A，使蒸镀温度在980℃-1000℃，在真空度为5×10^-6Pa下蒸镀沉积Ag薄膜；Ag薄膜厚度为60nm，沉积的速度为

5.根据权利要求1所述的一种超光滑金属薄膜表面的制备方法，其特征在于，所述金属薄膜的材质为Au；蒸镀高纯度Au金属膜时，控制加热电流为2.3-2.7A，使蒸镀温度在1080℃-1100℃，在真空度为5×10^-3Pa下蒸镀沉积Au薄膜在云母软基片上；沉积速率为沉积的膜厚为50nm。

6.根据权利要求1所述的一种超光滑金属薄膜表面的制备方法，其特征在于，金属薄膜的厚度为30-60nm。

7.根据权利要求1所述的一种超光滑金属薄膜表面的制备方法，其特征在于，步骤1)中采用机械剥离的方法将云母基片A逐层剥离的具体方法为：1)在平行于云母基片A的厚度方向上放置针头；2)按压医用针头，使其在垂直于云母硬基片的厚度方向上作往复运动；出现分层时，用镊子将云母片剥开，取其中较薄的一片。