[发明专利]一种教学用扫描电子显微镜

说明书

技术领域

本发明涉及一种教学设备技术领域，特别是涉及一种教学用扫描电子显微镜。

背景技术

扫描电子显微镜是1965年发明的较现代的细胞生物学研究工具，主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态，即用极狭窄的电子束去扫描样品，通过电子束与样品的相互作用产生各种效应，其中主要是样品的二次电子发射，二次电子能够产生样品表面放大的形貌像，这个像是在样品被扫描时按时序建立起来的，即使用逐点成像的方法获得放大像。

扫描电镜是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观性貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像，扫描电镜的优点是，①有较高的放大倍数，20-20万倍之间连续可调；②有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构；③试样制备简单，目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪装置，这样可以同时进行显微组织性貌的观察和微区成分分析，因此它是当今十分有用的科学研究仪器。

扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描，激发出各种物理信息，通过对这些信息的接受、放大和显示成像，获得测试试样表面形貌的观察，当一束极细的高能入射电子轰击扫描样品表面时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征X射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子，以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射，同时可产生电子-空穴对、晶格振动（声子)、电子振荡（等离子体），目前现有的电子扫描电子显微镜结构复杂，操作不方便，不容易维护，不适合教学使用。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种操作方便，显示效果好，方便维护，非常适合教学使用的教学用扫描电子显微镜。

为解决上述问题，本发明采用如下技术方案：一种教学用扫描电子显微镜，包括壳体、电子枪、散光像差补偿器和样品台，所述电子枪设在壳体顶部，电子枪能够产生扫描电子束，作为信号的激发源，所述电子枪下方依次设置有阳极和会聚光圈，所述会聚光圈内依次设置有聚光镜头一和聚光镜头二，聚光镜一、聚光镜二和聚光镜三能够缩小束斑的直径，散光像差补偿器可以提升电子束的亮度，所述散光像差补偿器设在聚光镜头二下方，所述散光像差补偿器一侧设置有一侧设置有调节手柄，调节手柄保持调节操作方便，所述散光像差补偿器下方设置有偏转线圈，所述样品台上设置有聚光镜头三，所述聚光镜头三呈倾角设置，所述壳体底部设置有真空装置，真空装置防止样品污染，提供高的真空度，所述真空装置与壳体无缝连接，呈一体式设置，方便维护使用。

作为优选，所述聚光镜头三一侧设置有二次电子探测器，能够收集产生的物理信号，放大作为显像系统的调制信号。

作为优选，所述二次电子探测器与壳体固定连接，保持结构稳定可靠。

作为优选，所述样品台为电动样品台，方便进行操控。

作为优选，所述样品台与壳体固定连接，保持结构稳定可靠。

该技术方案具有操作方便，显示效果好，方便维护，非常适合教学使用的特点。

本发明的有益效果是：设置的电子枪能够产生扫描电子束，作为信号的激发源，聚光镜一、聚光镜二和聚光镜三能够缩小束斑的直径，散光像差补偿器可以提升电子束的亮度，调节手柄保持调节操作方便，真空装置防止样品污染，提供高的真空度，二次电子探测器能够收集产生的物理信号，放大作为显像系统的调制信号。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的一种教学用扫描电子显微镜的结构图。

具体实施方式

参阅图1所示，一种教学用扫描电子显微镜，包括壳体1、电子枪2、散光像差补偿器3和样品台4，所述电子枪2设在壳体1顶部，所述电子枪2下方依次设置有阳极5和会聚光圈6，所述会聚光圈6内依次设置有聚光镜头一7和聚光镜头二8，所述散光像差补偿器3设在聚光镜头二8下方，所述散光像差补偿器3一侧设置有一侧设置有调节手柄9，所述散光像差补偿器3下方设置有偏转线圈10，所述样品台4上设置有聚光镜头三11，所述聚光镜头三11呈倾角设置，所述壳体1底部设置有真空装置12，所述真空装置12与壳体1无缝连接。

所述聚光镜头三11一侧设置有二次电子探测器13，在使用时，能够收集产生的物理信号，放大作为显像系统的调制信号。