[发明专利]闪蒸沉积装置

权利要求书

1.一种闪蒸沉积装置，包括：

液体输送系统，用来产生有机材料的细小液滴；

加热器，用来蒸发所述有机材料的细小液滴以产生蒸气材料并引向衬底，所述有机材料被沉积在衬底上；以及

辐射屏蔽罩，用来将所述加热器与所述液体输送系统屏蔽开。

2.如权利要求1所述闪蒸沉积装置，其特征在于，所述辐射屏蔽罩包括一个挡板以及挡板上的一个或多个孔洞，其中所述一个或多个孔洞配置成允许所述细小液滴靠近所述加热器。

3.如权利要求2所述闪蒸沉积装置，其特征在于，所述辐射屏蔽罩配置成阻碍所述蒸气材料向所述液体输送系统迁移。

4.如权利要求2所述闪蒸沉积装置，其特征在于，所述辐射屏蔽罩包括嵌套的外壳壁，至少部分地将所述液体输送系统与所述加热器屏蔽开。

5.如权利要求4所述闪蒸沉积装置，其特征在于，所述嵌套的外壳壁至少部分地将所述衬底与所述加热器屏蔽开。

6.如权利要求1所述闪蒸沉积装置，其特征在于，所述热辐射屏蔽罩包括多个平行的挡板，每个挡板包括一个或多个孔洞配置成允许所述细小液滴靠近所述加热器。

7.如权利要求1所述闪蒸沉积装置，其特征在于，进一步包括：

喷头，包括多个孔洞，用来引导所述蒸气材料至所述衬底。

8.如权利要求1所述闪蒸沉积装置，其特征在于，所述加热器包括加热到预定温度的油浴。

9.如权利要求1所述闪蒸沉积装置，其特征在于，所述液体输送系统包括：

压力控制腔室；

贮液器，位于所述压力控制腔室内，用来容纳所述有机材料的液体；以及

液体材料输送装置，与所述贮液器流体连通，并用来喷射所述有机材料的细小液滴。

10.如权利要求9所述闪蒸沉积装置，其特征在于，进一步包括：

控制器，用来控制所述压力控制腔室内有机材料液体的压力。

11.如权利要求1所述闪蒸沉积装置，其特征在于，所述液体输送系统包括液体材料输送装置，具有一个或多个传感器用来从液体腔内喷射有机材料的细小液滴。

12.如权利要求1所述闪蒸沉积装置，其特征在于，进一步包括：

真空腔室，内设所述液体输送系统，所述加热器以及所述辐射屏蔽罩。

13.如权利要求1所述闪蒸沉积装置，其特征在于，所述液体输送系统配置成产生有机材料混合物的细小液滴。

14.如权利要求13所述闪蒸沉积装置，其特征在于，所述有机材料混合物具有不同的蒸发温度。

15.如权利要求1所述闪蒸沉积装置，其特征在于，进一步包括：

传动机构，用来产生所述衬底和所述加热器在运动方向上的相对运动。

16.如权利要求15所述闪蒸沉积装置，其特征在于，所述加热器具有细长的形状，沿垂直于运动方向对齐。

17.如权利要求1所述闪蒸沉积装置，其特征在于，所述衬底包括沿垂直方向排列的沉积表面，并且所述加热器位于所述沉积表面的一侧。

18.如权利要求1所述闪蒸沉积装置，其特征在于，所述衬底包括水平方向朝向上方的沉积表面，并且所述加热器位于所述沉积表面的上方。

19.如权利要求1所述闪蒸沉积装置，其特征在于，所述衬底包括水平方向朝向下方的沉积表面，并且所述加热器位于所述沉积表面的下方。