[发明专利]一种用于砂轮表面形貌的检测方法与系统在审
| 申请号： | 201510500204.6 | 申请日： | 2015-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN105043303A | 公开（公告）日： | 2015-11-11 |
| 发明（设计）人： | 余卿;崔长彩;易定容;章明;孔令华;叶瑞芳;范伟;王寅;李煌;张勇贞 | 申请（专利权）人： | 华侨大学 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25 |
| 代理公司： | 泉州市文华专利代理有限公司 35205 | 代理人： | 陈智海 |
| 地址： | 362000 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 砂轮 表面 形貌 检测 方法 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于砂轮表面形貌的检测系统，其特征在于：沿光源发出光束的光路上依次设置准直透镜和数字微镜器件，且经准直透镜准直的光束与数字微镜器件的表面呈66°入射，此光束在垂直于数字微镜器件的表面的方向反射；经数字微镜器件反射的光束的光路上依次设置分光镜和色散透镜；待测砂轮对应于色散透镜的出射侧设置，并在垂直于光轴的方向的一固定轴上做一维横向移动，以及绕着此固定轴做旋转运动。
2.根据权利要求1所述的一种用于砂轮表面形貌的检测系统，其特征在于：所述数字微镜器件是一个由边长十微米左右的微反射镜构成的阵列；各所述微反射镜间的间隙为一微米左右。
3.一种用于砂轮表面形貌的检测方法，其特征在于：将光源发出的光束经过准直透镜后与数字微镜器件的表面呈66°入射，此光束在垂直于数字微镜器件的表面的方向反射，被数字微镜器件调制后形成线型光，此线型光经过分光镜后照射在色散透镜表面，由色散透镜对该线型光在光轴方向上进行色散，形成线型色散光，并照射在待测砂轮表面；待测砂轮在垂直于光轴的方向的一固定轴上做一维横向移动，以及绕着此固定轴做旋转运动，从而使色散光点阵列对整个待测砂轮表面进行扫描，在光轴方向上不做纵向扫描的前提下，获得待测砂轮表面的三维几何量信息。
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