[发明专利]薄膜电子零件

权利要求书

1.一种薄膜电子零件，具备：薄膜电极层；无机绝缘体层，形成在薄膜电极层上；以及有机绝缘体层，形成在无机绝缘体层上；在无机绝缘体层，以露出薄膜电极层的一部分的方式形成有第一贯通孔，在有机绝缘体层，以露出无机绝缘体层的第一贯通孔的方式形成有第二贯通孔，且在第一贯通孔及第二贯通孔形成有与薄膜导体层电连接的引出电极；所述薄膜电子零件的特征在于：

有机绝缘体层中的与第二贯通孔的交界线为包含一个以上的直线部的连续线。

2.根据权利要求1所述的薄膜电子零件，其特征在于：

与第二贯通孔的交界线为大致矩形，且在该矩形的角部，以各边连续地连接的方式形成有曲线部。

3.根据权利要求2所述的薄膜电子零件，其特征在于：

曲线部的曲率半径大于有机绝缘体层的厚度。

4.一种薄膜电子零件，具备：薄膜电极层；无机绝缘体层，形成在薄膜电极层上；以及有机绝缘体层，形成在无机绝缘体层上；在无机绝缘体层，以露出薄膜电极层的一部分的方式形成有第一贯通孔，在有机绝缘体层，以露出无机绝缘体层的第一贯通孔的方式形成有第二贯通孔，且在第一贯通孔及第二贯通孔形成有与薄膜导体层电连接的引出电极；所述薄膜电子零件的特征在于：

有机绝缘体层中的与第二贯通孔的交界线包含两条线以规定角度连接的非连续部，且该连接角度大于90°。

5.根据权利要求4所述的薄膜电子零件，其特征在于：

与第二贯通孔的交界线为大致矩形，且在该矩形的角部包含两个以上的非连续点。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的薄膜电子零件，其特征在于：

薄膜导体层包含第一薄膜导体层及第二薄膜导体层，

在第一薄膜导体层与第二薄膜导体层之间形成有薄膜介电层，

第一薄膜导体层形成在支撑基板上，且

引出电极电连接在第一薄膜导体层或第二薄膜导体层。