[发明专利]梯形像素Bank结构和OLED器件的制备方法有效

专利信息
申请号: 201510500582.4 申请日: 2015-08-14
公开(公告)号: CN105070650B 公开(公告)日: 2018-11-06
发明(设计)人: 高卓;李耘 申请(专利权)人: 广东聚华印刷显示技术有限公司
主分类号: H01L21/027 分类号: H01L21/027;H01L27/32;H01L51/56
代理公司: 深圳中一专利商标事务所 44237 代理人: 张全文
地址: 510000 广东省广州市中*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 梯形 像素 bank 结构 oled 器件 制备 方法
【说明书】:

发明适用于印刷显示技术领域,分别提供了梯形像素Bank结构和OLED器件的制备方法。所述梯形像素Bank结构的制备方法包括:提供一TFT背板,在所述TFT背板的电极上制备Bank层,对所述Bank层依次进行两次曝光、显影和刻蚀处理,形成倒梯形像素区域,得到具有梯形Bank的梯形像素Bank结构。本发明提供的梯形像素Bank结构的制备方法,能有效补偿显影液、刻蚀液对像素Bank的横向侵蚀作用,从而获得具有倾角α的梯形像素Bank结构,克服了因Bank底部的过刻蚀对器件像素的均匀性造成的影响,避免了器件开路,减小了器件的开口率。

技术领域

本发明属于印刷显示技术领域,尤其涉及梯形像素Bank结构和OLED器件的制备方法。

背景技术

OLED显示器件由于同时具备自发光,不需背光源、对比度高、厚度薄、视角广、反应速度快、可用于挠曲性面板等优点,被认为是下一代的平面显示器新兴应用技术。目前,对于OLED显示器件的制备,通常采用真空蒸镀和印刷技术制备,这是当前国际主流的发展技术。小分子的真空蒸镀技术比较成熟,目前已经实现产业化,并有中小尺寸的全彩色显示屏批量推出,应用在MP3、MP4、手机及小尺寸电视机等电子设备领域;另外,三星、LG等显示巨头已推出大尺寸OLED电视产品,更有曲面屏OLED电视产品面世。但是,该技术设备投资和维护费用高昂、材料浪费严重,难以实现大面积,且成本居高不下,面对残酷的市场环境,难以形成竞争优势。

那么,如何解决OLED高成本问题,加速OLED的推广?

印刷技术被认为是解决OLED高成本和实现大面积的有效途径,具有广阔的发展前景,这种技术可结合液体功能性材料和先进的印刷设备来制作OLED显示屏,可提高材料的利用率和生产效率,降低制造成本,提高产能。

最常见的印刷技术有喷墨印刷(inkjet printing)和丝网印刷(screenprinting)两种。典型的喷墨印刷设备有好几个印刷头,分别用于打印不同颜色的聚合物发光材料,每一个都带有数个微型喷嘴,把红、绿、蓝发光材料溶液分别精确地沉积在ITO玻璃基板的隔离柱槽中,溶剂挥发后形成纳米薄层(厚度在100纳米左右),构成发光像素。喷嘴是用特殊的压电陶瓷做成,可以通过控制陶瓷上所加电压大小及时间长短来精确控制液滴大小,从而调控发光层厚度,由于这是一种完全的数字技术,故不需要任何加工。喷墨印刷有许多优点,比如,分辨率相当高,具有灵活性,成本较低,并与几乎所有类型的基板兼容。另一种常用的印刷技术是丝网印刷,在OLED显示屏制备工艺中,丝网印刷主要用于加工显示屏的条状阴极(传统工艺一般采用真空蒸镀沉积形成条状金属阴极),阴极材料采用可印刷的阴极浆料,如导电银胶、金胶。丝网通常由精细编织的多孔织物或在金属板架上伸展的金属网孔构成。丝网顶端有一块模板封住了阴极浆料不应穿过的网孔区域。丝网放置在基板顶端,精确对位后固定丝网,然后使用阴极浆料,采用一块橡皮刀片在丝网的网孔通透区域刮阴极浆料,然后吊离丝网,形成条状阴极,丝网印刷可与各种基板一起使用,它可以单次淀积厚膜。

虽然喷墨打印技术被许多实验室研究证明,被认作是未来制造有机发光平板显示器最具有前景的技术,然而,应用喷墨打印技术生产平板显示器还存在很多问题需要解决,如:a)开发可印刷的高质量功能材料;b)薄膜厚度均匀性及光电性能等需达到应用的要求;c)Bank技术需要进一步优化,以提高印刷器件的分辨率;d)开发性能可靠、产量高的喷墨打印设备;e)开发印刷过程是否严格符合生产要求的监控系统等。应用喷墨打印技术生产平板显示器并走向工业化生产和进入市场,还有待研究者作出不懈的努力。

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