[发明专利]一种微纳米图形化蓝宝石衬底及其制备方法在审
| 申请号： | 201510500814.6 | 申请日： | 2015-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN106469769A | 公开（公告）日： | 2017-03-01 |
| 发明（设计）人： | 吴飞翔;林海凤;杜治新;汪健;董发;李鹏飞 | 申请（专利权）人： | 南通同方半导体有限公司;同方股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/22 | 分类号： | H01L33/22;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 226015 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 图形 蓝宝石 衬底 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
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