[发明专利]一种线性等离子发生器

权利要求书

1.一种线性等离子发生器，包括一套高频高压电源（1）、一套线性等离子射出装置，其特征在于，所述线性等离子射出装置包括一组等离子外壳所形成的多组气体缓冲区、恒压限流电容组件区和接地电极（5），所述恒压限流电容组件区包括恒压限流电容（3）和放电电极（4），所述恒压限流电容（3）与放电电极（4）串联，并通过电源高压线（2）与高频高压电源（1）连接，所述接地电极（5）通过电源接地线（6）与高频高压电源（1）连接后接地，由恒压限流电容（3）和放电电极（4）组成的恒压限流电容组件区的数目不少于两组，且恒压限流电容组件区的各个部分并联。

2.如权利要求1所述的线性等离子发生器，其特征在于，所述高频高压电源（1）为电压10-15Kv，频率25KHz，电流0.1-0.5A的高频高压电源。

3.如权利要求1所述的线性等离子发生器，其特征在于，所述多组气体缓冲区为三组，分别是第一缓冲区、第二缓冲区和第三缓冲区，高压气体进入发生器后，经过缓冲区最终保证气体生成的等离子体均匀的从通孔（11）射出。

4.如权利要求3所述的线性等离子发生器，其特征在于，所述第一缓冲区包含上板（12）、两个侧板（14）、前板（13）、后板（16）和缓冲板（17）。

5.如权利要求3所述的线性等离子发生器，其特征在于，所述第二缓冲区包括缓冲板（17）、电容板（20）、两个侧板（14）、前板（13）和后板（16）。

6.如权利要求3所述的线性等离子发生器，其特征在于，所述第三缓冲区包括电容板（20）、底板（24）、侧板（14)以及不少于两组的放电电极（23）和陶瓷（22），在底板（24）上还设有的通孔（11）以及在放电电极（23）上还设有电极缺口（31）。

7.如权利要求6所述的线性等离子发生器，其特征在于，所述放电电极（23）为可导电的直径为4mm的不锈钢材质，底部并设有缺口，方便气体通过并产生等离子体，所述陶瓷为（22）三氧化二铝材质，内径为5mm，所述通孔（11）直径为1-2mm。

8.如权利要求6所述的线性等离子发生器，其特征在于，所述电容板（20）上电容的一只接线柱与等离子射出装置内部高压电线（19）连接，另一只接线柱通过电容螺丝（21）固定在电容板（20）上，在电容螺丝（21）的底部镶嵌有导电弹簧（26），导电弹簧（26）的另一端镶嵌在放电电极（23）上，内部高压线（19）与等离子射出装置高压电接入线（9）连接，等离子射出装置高压电接入线（9）与电源高压线（2）连接，即高频高压电源通过电源高压线（2）、等离子射出装置高压电接入线（9）、内部高压电线（19）将电量接通于电容板（20）上电容的一只接线柱上，恒压限流电容通过另一只接线柱、电容螺丝（21）、导电弹簧（26）将电源的电量均匀分配给其对应的放电电极（23）上。

9.如权利要求8所述的线性等离子发生器，其特征在于，所述电容螺丝（21）和导电弹簧（26）为可导电的不锈钢材质。

10.如权利要求1所述的线性等离子发生器，其特征在于，上板（12）、侧板（14）、前板（13）、后板（16）、缓冲板（17）、电容板（20）和位于底板（24）与电容板（20）之间的限位板（25）均为环氧树脂材质。