[发明专利]一种制造有机无机钙钛矿晶体薄膜的方法

权利要求书

1.一种制造有机无机钙钛矿晶体薄膜的方法，其特征在于，包括：

清洗柔性衬底；

在所述柔性衬底上形成有机无机钙钛矿薄膜；

在N,N-二甲基甲酰胺或者二甲基亚砜蒸汽气氛下对所述有机无机钙钛矿薄膜进行退火处理。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在N,N-二甲基甲酰胺或者二甲基亚砜蒸汽气氛下对所述有机无机钙钛矿薄膜进行退火处理包括：

将形成了所述有机无机钙钛矿薄膜的所述柔性衬底置于加热台上；

加热所述加热台至退火温度；

用覆盖装置覆盖所述柔性衬底；

在所述加热台上所述覆盖装置的边缘与所述加热台接触位置的内侧的位置处添加N,N-二甲基甲酰胺或者二甲基亚砜；

将所述有机无机钙钛矿薄膜退火预定时间。

3.如权利要求1或者2所述的方法，其特征在于，所述清洗柔性衬底包括：依次用洗洁精水、丙酮、无水乙醇和去离子水清洗所述柔性衬底，每次清洗15-45分钟，然后使所述柔性衬底干燥。

4.如权利要求1至3中任意一项所述的方法，其特征在于，在所述柔性衬底上形成有机无机钙钛矿薄膜包括：

将铅卤化物溶液涂于所述柔性衬底上并干燥，在柔性衬底上形成铅卤化物层；

将柔性衬底上的所述铅卤化物层在异丙醇中预浸湿；

将甲胺卤化物溶液涂于预浸湿了的所述铅卤化物层上。

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于：所述铅卤化物溶液的溶剂为N,N-二甲基甲酰胺或者二甲基亚砜，所述铅卤化物溶液中铅卤化物的浓度为0.8-1.25摩尔/升；所述甲胺卤化物溶液的溶剂为异丙醇，所述甲胺卤化物溶液中甲胺卤化物的浓度为5-12毫克/毫升。

6.如权利要求1至3中任意一项所述的方法，其特征在于，在所述柔性衬底上形成有机无机钙钛矿薄膜包括：

将铅卤化物和甲胺卤化物溶解于N,N-二甲基甲酰胺或者二甲基亚砜中，获得混合溶液；

将所述混合溶液涂于所述柔性衬底上。

7.如权利要求6所述的方法，其特征在于：所述铅卤化物和所述甲胺卤化物的摩尔比为1:1至1:3。

8.如权利要求2所述的方法，其特征在于：在所述覆盖装置的边缘处添加的N,N-二甲基甲酰胺或者二甲基亚砜的量为10^-3至50^-3毫摩尔。

9.如权利要求1至7中任意一项所述的方法，其特征在于：退火温度为70至120摄氏度。

10.如权利要求1至7中任意一项所述的方法，其特征在于：退火时间为0.5至1.5小时。