[发明专利]膜片式薄膜压力传感器在审
| 申请号： | 201510504679.2 | 申请日： | 2015-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN105136376A | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 雷卫武;邓跃民 | 申请（专利权）人： | 州际科技实业有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/04 | 分类号： | G01L9/04;G01L19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 33320*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 膜片 薄膜 压力传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种膜片式薄膜压力传感器，包括一个外壳体(7)，一个焊接在所述外壳体(7)底部中心的应变膜片(8)，一个固定于所述外壳体(7)内部的电路板(9)，其特征在于，所述应变膜片(8)是采用4英寸或6英寸或10英寸的不锈钢或钛合金大片膜片材料，通过离子束溅射分别沉积绝缘膜、应变膜、焊盘膜、保护膜，然后光刻形成惠斯通电桥电路(12)后切割分离的。
2.如权利要求1所述的膜片式薄膜压力传感器，其特征在于，所述的4英寸或6英寸或10英寸的不锈钢或钛合金大片膜片材料厚度为0.03毫米至2.5毫米，可制造50KPa至200MPa的压力传感器。
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