[发明专利]基于45°光纤的非本征光纤珐珀加速度传感器及加工方法

权利要求书

1.基于45°光纤的非本征光纤珐珀加速度传感器，其特征在于，包括一个硅支撑结构(1)，一根从硅支撑结构(1)侧面贴靠底部插入的研抛端面为45°的光纤(2)，设置在硅支撑结构(1)顶部的质量块(3)，硅支撑结构(1)与质量块(3)构成珐珀腔；所述的质量块(3)为中间厚，四周薄的结构，质量块(3)的下表面镀有反射膜，质量块(3)的中间设置有圆形凸起。

2.权利要求1所述基于45°光纤的非本征光纤珐珀加速度传感器的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤a、加工设置有光纤插口的硅支撑结构(1)；包括以下步骤：

步骤a1、加工侧壁带有豁口的底座(11)，所述豁口作为硅支撑结构(1)的光纤插口，能够使光纤(2)穿过；

步骤a2、加工能够与底座(11)配合的支座(12)；

所述的步骤a1和步骤a2同步进行或按任意先后顺序；

步骤a3、按照支座(12)在上，底座(11)在下的顺序，将支座(12)与底座(11)键合，得到硅支撑结构(1)；

步骤b、加工下表面镀有反射膜的质量块(3)；包括以下步骤：

步骤b1、在基材上刻有环形槽(31)，环形槽(31)的外径与硅支撑结构(1)内壁尺寸一致；环形槽(31)内所包围的区域为加速度敏感区(32)，环形槽(31)外部区域为键合区(33)；

步骤b2、在环形槽(31)底部和加速度敏感区(32)表面镀反射膜；

所述的步骤a和步骤b同步进行或按任意先后顺序进行；

步骤c、将硅支撑结构(1)顶端与质量块(3)镀有反射膜的面键合在一起；

步骤d、将光纤(2)从光纤插口插入，调整光纤(2)的研抛端面与硅支撑结构(1)底面成45°角；利用六轴微位移台控制光纤(2)的插入距离和旋转角度，确保光纤(2)的研抛端面与硅支撑结构(1)底面成45°角；

步骤e、用环氧胶(6)将硅支撑结构(1)的光纤插口密封。