[发明专利]激光器装置以及激光加工机

权利要求书

1.一种激光器装置，其特征在于，具有：

种光源，其输出光；

前置光放大器，其对从所述种光源输出的光进行光学放大；

后置光放大器，其对从所述前置光放大器输出的光进行光学放大，包含具有热透镜效应的放大介质；

功率监视器部，其对从所述前置光放大器输出的光的平均功率进行测定；

种光源驱动器，其驱动所述种光源；

后置光放大器驱动器，其驱动所述后置光放大器；以及

控制部，其对所述种光源驱动器及所述后置光放大器驱动器进行控制，

所述控制部经由所述种光源驱动器对所述种光源进行控制，以选择性地输出连续光或多个脉冲，

所述控制部基于所述功率监视器部的测定结果，经由所述后置光放大器驱动器，对所述后置光放大器的增益进行控制，以使得所述后置光放大器后的光束的传输状态变为恒定。

2.一种激光器装置，其特征在于，具有：

种光源，其输出光；

前置光放大器，其对从所述种光源输出的光进行光学放大；

后置光放大器，其对从所述前置光放大器输出的光进行光学放大，包含具有热透镜效应的放大介质；

光束监视器部，其对从所述后置光放大器输出的光的光束的光束直径进行测定；

种光源驱动器，其驱动所述种光源；

前置光放大器驱动器，其驱动所述前置光放大器；

后置光放大器驱动器，其驱动所述后置光放大器；以及

控制部，其对所述种光源驱动器、所述前置光放大器驱动器及所述后置光放大器驱动器进行控制，

所述控制部经由所述种光源驱动器对所述种光源进行控制，以选择性地输出连续光或多个脉冲，

所述控制部经由所述前置光放大器驱动器对所述前置光放大器的增益进行控制，或者经由所述后置光放大器驱动器对所述后置光放大器的增益进行控制，以使得利用所述光束监视器部计算得到的光束直径不变化。

3.根据权利要求1或2所述的激光器装置，其特征在于，

所述种光源是半导体激光器。

4.根据权利要求2所述的激光器装置，其特征在于，

所述前置光放大器包含：光纤型放大介质；以及向该光纤型放大介质供给激励光的激励光源，

所述控制部对所述前置光放大器的激励光功率及激励光波长中的至少一者进行控制。

5.根据权利要求2所述的激光器装置，其特征在于，

所述后置光放大器包含：具有热透镜效应的柱状放大介质；以及向该柱状放大介质供给激励光的激励光源。

6.根据权利要求1或2所述的激光器装置，其特征在于，

所述后置光放大器包含：具有热透镜效应的柱状放大介质；以及向该柱状放大介质供给激励光的激励光源；

所述控制部对所述后置光放大器的激励光功率及激励光波长中的至少一者进行控制。

7.根据权利要求1或2所述的激光器装置，其特征在于，

所述前置光放大器包含：光纤型放大介质；以及向该光纤型放大介质供给激励光的激励光源。

8.根据权利要求1或2所述的激光器装置，其特征在于，

在所述后置光放大器之后包含波长变换器。

9.一种激光加工机，其特征在于，具有：

如权利要求1或2记载的激光器装置；

聚光光学系统，其对从所述激光器装置输出的激光束进行聚光；以及

扫描机构，其对聚光得到的激光束及被加工物相对地进行扫描。

10.根据权利要求9所述的激光加工机，其特征在于，

所述激光束的波长处于紫外区域。