[发明专利]一种混合式高纯气体分析实验系统

权利要求书

1.一种混合式高纯气体分析实验系统，其特征在于：包括样本气体输送装置(1)、前级气体处理装置、中级气体加湿装置、后级气体实验分析装置和用于连接各装置的气体管路；所述前级气体处理装置包括气体过滤室(2)和气体消毒室(3)；所述中级气体加湿装置包括加压泵(4)和加湿盒(5)；所述后级气体实验分析装置包括试验箱(6)和安装在该实验箱(6)内的温度分析控制装置、压力分析控制装置、噪声分析控制装置、粉尘分析控制装置以及中央处理器(7)和反馈模块(8)；所述样本气体输送装置(1)连接气体过滤室(2)，所述气体过滤室(2)与气体消毒室(3)相连，所述气体消毒室(3)的管路出口分为两条支路，一条支路连接加压泵(4)，该加压泵(4)连接加湿盒(5)，该加湿盒(5)的出口管路与气体消毒室(3)的另一条支路汇总后连接试验箱(6)。

2.根据权利要求1所述的一种混合式高纯气体分析实验系统，其特征在于：所述温度分析控制装置包括温度传感器(9)和加热器(10)；所述压力分析控制装置包括压力传感器(11)和压力控制器(12)；所述噪声分析控制装置包括分贝测量器(13)和噪音制造器(14)；所述粉尘分析控制装置包括粉尘传感器(15)和粉尘喷洒器(16)；所述的温度传感器(9)、压力传感器(11)、分贝测量器(13)和粉尘传感器(15)均与中央处理器(7)相连；所述的加热器(10)、压力控制器(12)、噪音制造器(14)和粉尘喷洒器(16)均与反馈模块(8)相连，且反馈模块(8)与中央处理器相连。

3.根据权利要求1所述的一种混合式高纯气体分析实验系统，其特征在于：所述试验箱(6)内还设有湿度传感器(17)，该湿度传感器(17)与中央处理器(7)相连；所述加压泵(4)还连接有PLC控制器(18)，且该PLC控制器(18)与反馈模块(8)相连。

4.根据权利要求1所述的一种混合式高纯气体分析实验系统，其特征在于：所述试验箱(6)还设有旁通管道(19)，该旁通管道(19)连接到气体过滤室(2)的进口。

5.根据权利要求1所述的一种混合式高纯气体分析实验系统，其特征在于：所气体过滤室(2)通过可更换的过滤棉过滤气体。

6.根据权利要求1所述的一种混合式高纯气体分析实验系统，其特征在于：所述气体消毒室(3)通过紫外线消毒灯进行消毒。

7.根据权利要求4所述的一种混合式高纯气体分析实验系统，其特征在于：所述气体消毒室(2)出口的两条支路以及旁通管道(19)上均设有阀门。