[发明专利]一种低挥发性单晶硅片制绒液及其制备方法

权利要求书

1.一种低挥发性单晶硅片制绒液，其特征在于，其是由下述重量份的原料制得：

氢氧化钠0.5-1，助剂3-5，葡萄糖酸钠0.2-0.4，棉子糖0.5-1，柠檬酸钠0.3-0.5，聚乙烯吡咯烷酮0.3-0.5，椰油酰胺丙基甜菜碱0.5-1，海藻酸丙二醇酯0.3-0.5，二甲基硅油0.1-0.2，水80-100；

所述助剂由下列重量份的原料制成：皂角10-15，纳米二氧化钛0.1-0.15，过硫酸铵0.1-0.2，乙酸乙烯酯1-1.5，碳酸氢钠0.2-0.4，十二烷基葡糖苷1-2，水100-150；助剂的制备方法是将皂角粉碎磨粉，将得到的皂角粉与碳酸氢钠、十二烷基葡糖苷共同加入水中70-80℃、200-400r/min搅拌4-6h，冷却后过滤，向滤液中加入乙酸乙烯酯和纳米二氧化钛并超声分散5-10min，然后加入2-5%的过硫酸铵溶液70-80℃搅拌1-2h，冷却后过滤，即得。

2.根据权利要求1所述的一种低挥发性单晶硅片制绒液的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）将聚乙烯吡咯烷酮、椰油酰胺丙基甜菜碱共同加入1/3-1/2重量的水中，先400-600r/min搅拌5-10min，再加入二甲基硅油70-80℃、400-600r/min搅拌10-20min，冷却后得组分A；

（2）先将氢氧化钠溶于剩余的水中，然后加入其余原料85-90℃、200-400r/min搅拌2-4h，得组分B；

（3）将组分A与组分B混合并于70-80℃、1000-1500r/min条件下搅拌10-15min，过滤后即得低挥发性单晶硅片制绒液。