[发明专利]具有侧部摩擦力调整机构的粘滑驱动跨尺度精密定位平台

权利要求书

1.一种具有侧部摩擦力调整机构的粘滑驱动跨尺度精密定位平台，其特征在于，包括：

基台，所述基台包括基座、预紧柔性铰链、驱传动柔性铰链、惯性质量块；

压电陶瓷，所述压电陶瓷安装在所述基座与所述惯性质量块之间；

侧部摩擦力调整机构，所述侧部摩擦力调整机构包括调整柔性铰链、调整压电陶瓷及调整预紧螺栓；

滑台，所述滑台安装在所述基座上方；

滑块，所述滑块安装在所述调整柔性铰链的一侧；

调整所述调整预紧螺栓，使所述调整柔性铰链发生变形，实现所述滑块与所述滑台之间摩擦力的粗调，再对所述调整压电陶瓷施加驱动信号，使调整柔性铰链发生变形，实现所述滑块与所述滑台之间摩擦力的细调。

2.如权利要求1所述的一种具有侧部摩擦力调整机构的粘滑驱动跨尺度精密定位平台，其特征在于：所述具有侧部摩擦力调整机构的粘滑驱动跨尺度精密定位平台还包括导轨，所述导轨通过螺栓安装在所述基座和所述滑台的两边。

3.如权利要求2所述的一种具有侧部摩擦力调整机构的粘滑驱动跨尺度精密定位平台，其特征在于：所述导轨为双列交叉滚柱导轨，所述滑台沿所述双列交叉滚柱导轨滑动。

4.如权利要求3所述的一种具有侧部摩擦力调整机构的粘滑驱动跨尺度精密定位平台，其特征在于：所述双列交叉滚柱导轨还包括保持架和滚柱，所述保持架和滚柱为所述滑台的滑动提供支撑。

5.如权利要求1所述的一种具有侧部摩擦力调整机构的粘滑驱动跨尺度精密定位平台，其特征在于：所述调整柔性铰链、调整压电陶瓷及调整预紧螺栓分别为一个，且置于所述惯性质量块上方，并与惯性质量块一体加工成型。

6.如权利要求1所述的一种具有侧部摩擦力调整机构的粘滑驱动跨尺度精密定位平台，其特征在于：所述滑台为“E”字形，中间具有凸出部分，所述凸出部分与所述滑块接触产生摩擦力，形成粘滑驱动。

7.如权利要求1所述的一种具有侧部摩擦力调整机构的粘滑驱动跨尺度精密定位平台，其特征在于：所述压电陶瓷采用驱传动叠堆型压电陶瓷致动器。

8.如权利要求1所述的一种具有侧部摩擦力调整机构的粘滑驱动跨尺度精密定位平台，其特征在于：所述压电陶瓷的一端通过通过所述预紧柔性铰链进行预紧，另一端与所述惯性质量块相接触。