[发明专利]环状屏蔽部件、其构成零件和基板载置台

权利要求书

1.一种环状屏蔽部件，其在对矩形的基板实施等离子体处理的基板处理装置的处理室内以包围载置所述基板的基板载置台的矩形的载置面的周围的方式设置，所述环状屏蔽部件的特征在于：

所述环状屏蔽部件包括环状屏蔽部件的构成零件的组合体，

所述构成零件包括沿所述矩形的载置面的一边配置的绝缘性的长尺寸状物件，

所述构成零件具有：第一移动限制部，其设置于该长尺寸状物件的长度方向上的一端，限制所述构成零件的全方向上的移动；和

第二移动限制部，其在所述长度方向上与所述第一移动限制部离开地设置，限制所述构成零件的所述长度方向以外的移动，

所述第一移动限制部具有：第一导向件，其设置为相对于所述基板载置台不能移动；和第一导向件孔，其为与该第一导向件动配合的凹部，所述第一导向件的各个侧面和所述第一导向件孔的各个侧面的间隙设定得小，以限制所述构成零件的全方向上的移动，

所述第二移动限制部具有：第二导向件，其设置为相对于所述基板载置台不能移动；和第二导向件孔，其为与该第二导向件动配合的凹部，所述第二导向件孔的所述长度方向上的长度设定为比所述第二导向件的所述长度方向上的长度大，

在所述环状屏蔽部件中，各个所述构成零件以一个所述构成零件的所述长度方向上的一端的端面与相邻的另一所述构成零件的所述长度方向上的另一端的侧面抵接，且所述一个所述构成零件的所述长度方向上的另一端的侧面，与不同于相邻的所述另一所述构成零件的、相邻的又一所述构成零件的所述长度方向上的一端的端面抵接的方式组合。

2.如权利要求1所述的环状屏蔽部件，其特征在于：

所述长尺寸状物件沿所述长度方向被分割为第一长尺寸部和第二长尺寸部，所述第一移动限制部设置在所述第一长尺寸部的所述长度方向上的一端，所述第二移动限制部设置在所述第二长尺寸部，所述第一长尺寸部的所述长度方向上的另一端与所述第二长尺寸部的所述长度方向上的一端抵接。

3.如权利要求2所述的环状屏蔽部件，其特征在于：

所述第一长尺寸部和所述第二长尺寸部相互接合，在所述第一长尺寸部和所述第二长尺寸部抵接的抵接部具有位置偏离防止机构，该位置偏离防止机构防止所述第一长尺寸部和所述第二长尺寸部的相对位置偏离。

4.如权利要求1所述的环状屏蔽部件，其特征在于：

所述矩形载置面的各个角部分别被实施平面的倒角处理，

除所述构成零件之外，还具备三角柱状的间隙嵌合部件，所述间隙嵌合部件对由各个所述角部的倒角面和一个所述构成零件的一端的端面以及相邻的另外的所述构成零件的另一端的端面的接合部构成的三角柱状的间隙进行填埋。

5.一种基板载置台，其特征在于：

具有如权利要求1或4所述的环状屏蔽部件。