[发明专利]超声波器件及其制造方法、探测器、测量装置、电子设备

说明书

提供超声波器件及其制造方法、探测器、测量装置、电子设备。作为本实施方式的超声波器件的超声波器件单元130具备：元件基板(131)，其包括配置于第一面(132a)上的、超声波元件和已连接于超声波元件的元件配线端子(145)，(147)；以及配线基板(161)，其包括以内包超声波元件所配置的区域的大小在厚度方向上贯通而开口的开口部(162)和设置于开口部(162)以外的安装面(161a)上的配线端子(163)，第一面(132a)的超声波元件与开口部(162)相对配置，元件配线端子(145)，(147)与配线端子(163)相对而连接。将形成有声匹配层(151)的声透镜(152)插入配线基板(161)的开口部(162)中，声匹配层(151)与已配置有超声波元件的区域接触。

相关申请的交叉参照

本申请基于并要求于2014年8月29日提交的日本专利申请第2014-175113号的优先权的权益，其全部公开结合于此作为参照。

技术领域

本发明涉及超声波器件、超声波器件的制造方法使用了该超声波器件的超声波探测器、超声波测量装置、电子设备。

背景技术

作为超声波器件，已公开一种超声波换能器元件芯片，其具有超声波换能器元件，设置于以阵列状配置于基板的第一面的开口上；以及加强部件，固定于基板的与第一面相反侧的第二面上，其中在加强部件上具有使上述开口与外部空间连通的直线状槽部。此外，已公开一种具备搭载了该超声波换能器元件芯片的超声波探测器的超声波诊断装置。

在上述超声波诊断装置中，上述超声波换能器元件芯片经由柔性印刷基板(以后称为FPC)而与用于使超声波从上述超声波换能器元件发射或者用于由上述超声波换能器元件接收该超声波的反射波的发送接收电路电连接。

然而，为使包括发送接收电路的至少一部分的配线基板与超声波换能器元件芯片电连接而使用FPC等中继基板，由于中继基板本身的配线电阻和与中继基板的连接中的连接电阻等，引起在发送接收电路与超声波换能器元件之间所发送接收的电信号的电压下降。此外，具有噪声容易从外部进入中继基板这样的问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013-211604号公报

发明内容

本发明为解决上述问题的至少一部分而做出，能够作为以下的方式或应用例而实现。

[应用例]本应用例所涉及的超声波器件的特征在于，具备：元件基板，其包括配置于第一面上的超声波元件和连接于所述超声波元件的元件配线端子；以及配线基板，其包括以内包所述超声波元件所配置的区域的大小在厚度方向上贯通而开口的开口部和设置于所述开口部外的安装面上的配线端子，所述第一面的所述超声波元件与所述开口部相对配置，所述元件配线端子与所述配线端子相对而连接。

根据本应用例，与使用中继基板而将元件基板和配线基板电连接的情况相比，由于将元件基板面朝下(face down)安装于配线基板上，因此难以受到起因于中继基板的配线电阻、连接电阻的电信号衰减和来自外部的噪声的影响，能够提供具有高连接可靠性并且薄型的超声波器件。

上述应用例所述的超声波器件优选具备在所述开口部中从所述元件基板侧依次层叠的声匹配层和声透镜。

根据该构成，通过声阻抗在超声波元件与不同的对象物的例如人体之间经由声透镜和声匹配层，从而能够将从超声波元件发射的超声波有效地照射至人体。此外，能够由超声波元件有效地接收例如从作为超声波照射的对象物的例如人体反射的超声波。

在上述应用例所述的超声波器件中，优选具有填充于所述开口部与所述声透镜的间隙中的密封部件。