[发明专利]一种利用扫描电镜及能谱仪对材料组织定量分析的方法

权利要求书

1.一种利用扫描电镜及能谱仪对材料组织定量分析的方法，其特征在于,一种利用扫描电镜及能谱仪对材料组织定量分析的方法，具体步骤及参数如下：

1)样品制备：样品表面清洁，磨制抛光，对需要显示组织的金属材料进行化学或电化学浸蚀；矿物、耐火材料、待分析相成分差异大的材料无须进行浸蚀；

2)样品观察：将制备好的试样放入电镜样品室，抽真空，加灯丝电流，对中消象散，调节好亮度、对比度，保持工作距离10mm，得到聚焦清晰的电子图像；打开X射线能谱仪，待灯丝电流发射束流稳定后，进入能谱分析程序；调节好二次电子像或背散射电子像的衬度差，用能谱仪抓取电子图像；对背散射像进行被测相定量测量时，可根据背散射像成分衬度差异直接进行测量；

3)数据采集及处理：图像采集后，使用电脑中的牛津INCAIE250-450分析系统的“面积测量数据”键，将被测相勾选出颜色，调节衬度阈值杆，使被测量相显示为彩色高光，此时对话框右侧自动显示该被测相在本视场中所占的面积百分比；其他相选择对话框中其他颜色进行测量；

4)阈值的选取：阈值的选取对测量的准确度有影响，选取时左，右两侧的阈值杆定位于被测相亮度抛物线的左右两拐点处；保持该相的亮度阈值，移动视场，对该相进行测量；

5)数据输出：将实验结果输出为彩色位图或表格报告。

2.根据权利要求1所述的分析方法，其特征在于，在调整二次电子像或背散射电子像时，组织清晰不失去细节的情况下，采用大对比度。