[发明专利]一种混合热场结构蓝宝石晶体生长炉在审
| 申请号： | 201510527468.0 | 申请日： | 2015-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN105040093A | 公开（公告）日： | 2015-11-11 |
| 发明（设计）人： | 赵丽丽;吕铁铮;宋爱利;赵丹洋;张航宇 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B29/20 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 侯静 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 混合 结构 蓝宝石 晶体生长 | ||
1.一种混合热场结构蓝宝石晶体生长炉，其特征在于该混合热场结构蓝宝石晶体生长炉包括外壳(1)、钼桶(3)、顶保温层(2)、底保温层(9)、高温区侧保温层(5)、填充球(4)、钨杆加热器(6)、钼坩埚(7)和坩埚轴(8)；其中钼坩埚(7)设置在钼桶(3)内部，钼坩埚(7)的底部与坩埚轴(8)连接，坩埚轴(8)穿过底保温层(9)；
所述钼桶(3)为筒状中空密封结构，钼桶(3)顶端设有顶保温层(2)，底部设有底保温层(9)，钼桶(3)内侧面设有高温区侧保温层(5)，在高温区侧保温层(5)的内侧设置多个钨杆加热器(6)，钨杆加热器(6)均匀围绕在钼坩埚(7)外侧；其中多个填充球(4)填充在钼桶(3)的中空结构中；
所述外壳(1)设置在钼桶(3)、上保温层(2)和底保温层(9)的外侧。
2.根据权利要求1所述的一种混合热场结构蓝宝石晶体生长炉，其特征在于钼桶(3)中空结构的厚度为80～100mm。
3.根据权利要求1所述的一种混合热场结构蓝宝石晶体生长炉，其特征在于外壳(1)为不锈钢材料。
4.根据权利要求1所述的一种混合热场结构蓝宝石晶体生长炉，其特征在于顶保温层(2)为三层结构，由下向上依次为5层厚度为0.5mm/层的钨板、3层厚度为0.5mm/层的钼板、与钼桶(3)结构相同的中空密封层，其中中空密封层内填充氧化锆陶瓷，且中空密封层的厚度为15mm～100mm。
5.根据权利要求1所述的一种混合热场结构蓝宝石晶体生长炉，其特征在于底保温层(9)由下向上依次为与钼桶(3)结构相同的中空密封层、5层厚度为0.5mm/层的钨板，其中中空密封层内填充氧化锆陶瓷，且中空密封层的厚度为15mm～100mm。
6.根据权利要求1所述的一种混合热场结构蓝宝石晶体生长炉，其特征在于高温区侧保温层(5)为6层厚度为0.5mm/层的钨桶，钨桶由钨板制成。
7.根据权利要求1所述的一种混合热场结构蓝宝石晶体生长炉，其特征在于钨杆加热器(6)由钨棒和钨丝混合组成。
8.根据权利要求1所述的一种混合热场结构蓝宝石晶体生长炉，其特征在于填充球(4)为氧化铝空心小球、氧化锆陶瓷或固化硬毡。
9.根据权利要求1所述的一种混合热场结构蓝宝石晶体生长炉，其特征在于坩埚轴(8)为中空结构。
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