[发明专利]CrxAlyY1‑x‑yN纳米复合刀具镀层制备方法

权利要求书

1.Cr_xAl_yY_1-x-yN纳米复合刀具镀层制备方法，其特征在于，具体按以下步骤实施：

步骤1，清洗刀具：

对刀具依次进行超声波丙酮清洗、酒精清洗，烘干，确保刀具表面的洁净程度；

步骤2，刀具离子清洗；

步骤3，制备打底层：

在刀具表面沉积Cr金属层；

步骤4，制备过渡层1：

在打底层上沉积Cr-N梯度镀层，具体为：设置氩气流量为15～25sccm，工件偏压为-70～-50V，靶电流I_Cr＝2A，I_Al＝0.2A，I_Y＝0.2A，脉冲频率为250KHz，脉冲宽度为500ns，同时设置N₂通入流量，开始通入N₂，进行Cr-N梯度镀层沉积；

步骤5，制备过渡层2：

在过渡层1上沉积Cr-Al-Y-N梯度镀层，具体为：设置氩气流量为15～25sccm，工件偏压为-70～-50V，靶电流I_Cr＝2A，保持脉冲频率为250KHz，脉冲宽度为500ns不变，同时设置靶电流I_Al、I_Y和N₂通入流量，进行Cr-Al-Y-N梯度镀层沉积；

步骤6，制备工作层：

在过渡层2上沉积Cr_xAl_yY_1-x-yN纳米复合镀层，具体为：设置氩气流量为15～25sccm，工件偏压为-70～-50V，靶电流I_Cr＝2A，I_Al＝2A，I_Y＝1～3A，OEM为45％，脉冲频率为250KHz，脉冲宽度为500ns，进行Cr_xAl_yY_1-x-yN纳米复合镀层沉积。

2.根据权利要求1所述的Cr_xAl_yY_1-x-yN纳米复合刀具镀层制备方法，其特征在于，所述步骤2具体为：将清洗后的刀具装入镀膜机内，抽真空，当背底真空度达到5.0×10^-5Pa以下，通入氩气Ar，流量控制为15～25sccm，设置工件偏压为-300～-250V，N₂气流量控制开关OEM关闭，开启4个靶材，4个靶材分别为Al靶、Y靶和两个Cr靶，靶电流设置I_Cr＝0.6A，I_Al＝0.2A，I_Y＝0.2A，脉冲频率设置为250KHz，脉冲宽度设置为1400ns，进行离子清洗，清洗时间为600～1200s。

3.根据权利要求1所述的Cr_xAl_yY_1-x-yN纳米复合刀具镀层制备方法，其特征在于，所述步骤3具体为：设置氩气流量为15～25sccm，靶电流I_Al＝0.2A，I_Y＝0.2A，脉冲频率为250KHz，将OEM打开，设定值为100％，脉冲宽度降为500ns，同时设置靶电流I_Cr和工件偏压，进行Cr金属层沉积。

4.根据权利要求3所述的Cr_xAl_yY_1-x-yN纳米复合刀具镀层制备方法，其特征在于，所述靶电流I_Cr和工件偏压的设置具体为：在60～120s内，I_Cr由0.6A升至2A、工件偏压从-300～-250V降至-70～-50V；Cr金属层的沉积时间为240～360s。

5.根据权利要求1所述的Cr_xAl_yY_1-x-yN纳米复合刀具镀层制备方法，其特征在于，所述步骤4中，N₂通入流量设置具体为：在60～120s内，OEM由100％逐步降到80％；Cr-N梯度镀层沉积时间为360～480s。