[发明专利]一种剥离液供给系统有效
申请号: | 201510528506.4 | 申请日: | 2015-08-25 |
公开(公告)号: | CN105118770B | 公开(公告)日: | 2017-12-26 |
发明(设计)人: | 杜海波 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02;H01L21/3105;G03F7/42 |
代理公司: | 北京聿宏知识产权代理有限公司11372 | 代理人: | 张文娟,朱绘 |
地址: | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 剥离 供给 系统 | ||
1.一种剥离液供给系统,包括:
若干药槽,用于盛放剥离液;
若干所述药槽基于其内部剥离液种类和杂质浓度的大小通过连接管路依次连通,用以在所述药槽中的剥离液达到更换条件后实现所述药槽间的级联换液;
多个剥离设备单元,基于预定原则分组,且分组后同一组内的剥离设备单元连接至同一药槽,用以接收药槽供给的剥离液来对被剥离物进行剥离处理。
2.根据权利要求1所述的供给系统,其特征在于,基于预定原则分组包括:将具有相同剥离液种类、剥离液浓度和喷射条件的剥离设备单元分为一组。
3.根据权利要求2所述的供给系统,其特征在于,同一组内的所述剥离设备单元各通过一条连接管路与同一药槽连接,并且在各个连接管路上设置一用以从所述药槽中抽取剥离液的泵。
4.根据权利要求3所述的供给系统,其特征在于,在各个所述剥离设备单元与所述药槽的连接管路上设置有一位于所述泵与所述剥离设备单元之间的过滤器,用以对从所述药槽中抽取的剥离液进行过滤。
5.根据权利要求2所述的供给系统,其特征在于,同一组内的各个所述剥离设备单元与所述药槽的连接管路汇集为一公用连接管路,通过所述公用连接管路与所述药槽连接,并在所述公用连接管路上配置一用以从所述药槽中抽取剥离液的泵。
6.根据权利要求5所述的供给系统,其特征在于,在所述公用连接管路上设置有一位于所述泵与各个所述剥离设备单元之间的过滤器,用以对从所述药槽中抽取的剥离液进行过滤。
7.根据权利要求4或6所述的供给系统,其特征在于,在各个所述剥离设备单元与所述过滤器之间的连接管路上各设置一自动阀,用以控制连接管路的开/闭。
8.根据权利要求7所述的供给系统,其特征在于,通过控制与所述剥离设备单元连接的自动阀及所述剥离设备单元与所述药槽连接管路上的泵协同工作,以实现从所述药槽中抽取剥离液并将剥离液送至对应的剥离设备单元。
9.根据权利要求1所述的供给系统,其特征在于,若干所述药槽与化学品中央供给系统连接,所述化学品中央供给系统用于向所述药槽提供剥离液。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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