[发明专利]蚀刻装置

权利要求书

1.一种蚀刻装置，其包括存储腔及与存储腔相邻的蚀刻腔，其特征在于，所述存储腔与蚀刻腔之间通过挡板分隔，所述蚀刻腔内设置蚀刻喷口，所述挡板上设有入口，位于蚀刻腔内相对入口设有风帘，所述风帘位于所述入口相对两侧；所述蚀刻装置还包括清洗组件，所述清洗组件包括罩体、喷淋管及分流管，所述罩体包括第一罩体及第二罩体，所述第一罩体及第二罩体分别可旋转的装于所述入口两侧的挡板上，第一罩体、第二罩体及所述挡板形成清洗室，所述入口位于所述清洗室内，所述喷淋管位于入口两侧并朝向入口，所述分流管位于罩体上与蚀刻喷口相对的方向并连通清洗室与外界。

2.如权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，所述第一罩体位于所述第二罩体下方，所述第一罩体设有底壁，所述分流管装于底壁上，用于引流清洗室内的清洗液。

3.如权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，所述第一罩体与第二罩体通过转轴转动的装于挡板上。

4.如权利要求2所述的蚀刻装置，其特征在于，所述风帘与所述挡板之间具有流道，所述喷淋管位于蚀刻腔内并与流道贯通，所述流道的端口位于所述清洗室内并朝向所述入口。

5.如权利要求2所述的蚀刻装置，其特征在于，所述喷淋管位于所述清洗室内并朝向所述风帘位置。

6.如权利要求4所述的蚀刻装置，其特征在于，所述蚀刻装置还包括传动室，所述传动室内设有传动齿轮，所述分流管一端连通所述清洗室，另一端连通所述传动室。

7.如权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，所述挡板上位于入口一侧设有盖体，所述盖体滑动装于挡板上以遮蔽入口。

8.如权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，所述蚀刻装置使用离子水经喷淋管进入清洗室清洗。

9.如权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，所述蚀刻装置还包括控制单元，用于启动及控制所述蚀刻装置作业。