[发明专利]一种蜡纸掩模及其制备方法

权利要求书

1.一种蜡纸掩模的制备方法，包括：

对涂覆聚甲基丙烯酸甲酯的样品曝光、显影以及定影，得到蜡纸掩膜，

所述聚甲基丙烯酸甲酯的重均分子量为50000～950000；

所述曝光的曝光剂量为300～430μC/cm²；

所述涂覆聚甲基丙烯酸甲酯的样品中聚甲基丙烯酸甲酯的厚度为0.1～1.5微米。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述涂覆聚甲基丙烯酸甲酯的样品按照以下方法制备：

在衬底上涂覆聚甲基丙烯酸甲酯溶液，得到涂覆聚甲基丙烯酸甲酯的样品，

所述聚甲基丙烯酸甲酯的溶液为聚甲基丙烯酸甲酯的有机溶液，

所述有机溶液的有机溶剂为氯仿和甲醚中的一种或两种。

3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述聚甲基丙烯酸甲酯溶液中聚甲基丙烯酸甲酯的质量百分含量为1wt％～9wt％。

4.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述涂覆的方式为旋涂。

5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述旋涂的转速为2000～6000rpm。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述曝光为电子束曝光。

7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述显影的时间为30秒～120秒。

8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述定影的时间为30秒～120秒。

9.一种蜡纸掩膜，由权利要求1～8任意一项所述的制备方法制备得到。