[发明专利]一种全集成红外气体传感器

权利要求书

1.一种全集成红外气体传感器，由微型气室与集成模块键合构成，其中，集成模块包括硅衬底以及硅衬底上的红外光源、红外探测器和信号处理电路；微型气室由上、下硅片键合构成，所述上硅片开设气孔，所述下硅片开设V型微槽、与上硅片及其气孔组合形成光腔，V型微槽两端开设红外光源窗口和红外敏感元窗口；所述红外光源、红外探测器分别与红外光源窗口、红外敏感元窗口对应设置。

2.按权利要求1所述全集成红外气体传感器，其特征在于，所述V型微槽呈蛇形，气孔与V型微槽对应开设，形成光腔通过气孔与被测气体相通。

3.按权利要求1所述全集成红外气体传感器，其特征在于，所述信号处理电路包括红外信号放大模块、AD转换模块、中央处理器、数字信号处理(DSP)模块、红外光源驱动模块、铝互联线、电源管理模块、金丝键合焊盘，传感器通过键合焊盘上键合的金丝与外部系统连接，所述红外光源由红外光源驱动电路驱动，所述红外探测器的输出信号经过红外探测器信号放大电路传输至AD转换模块，转换得到数字信号传输至数字信号处理(DSP)模块进行信号处理，电源管理模块为各模块供电，铝制互联线用于各模块之间形成电气连接，中央处理器控制各模块、以及传感器与外部系统通信。

4.按权利要求1所述全集成红外气体传感器，其特征在于，所述微型气室的上、下硅片均采用单晶硅基片，所述气孔和V型微槽采用各向异性腐蚀工艺制备。