[发明专利]水冷环形热阴极离子源中和器

权利要求书

1.一种水冷环形热阴极离子源中和器，包括主体（1）、光阑（2）、电极固定板（3）、钨丝电极柱（7）、前侧电极（10）和后侧电极（11），电极固定板（3）固定在主体（1）上，光阑（2）固定在主体（1）上端，钨丝电极柱（7）穿过电极固定板（3），前侧电极（10）、后侧电极（11）固定在电极固定板（3）上；其特征在于，还包括冷却水管（12）和环状钨丝（13），环状钨丝（13）固定在主体（1）上，前侧电极（10）、后侧电极（11）分别套在钨丝电极柱（7）下端；冷却水管（12）固定在主体（1）外侧的凹形半圆槽上。

2.根据权利要求1所述的水冷环形热阴极离子源中和器，其特征在于，所述的钨丝电极柱（7）与电极固定板（3）之间套有T型陶瓷垫圈（4），T型陶瓷垫圈（4）上端套有帽形垫片（6）。

3.根据权利要求1所述的水冷环形热阴极离子源中和器，其特征在于，所述的钨丝电极柱（7）的下端套有柱型陶瓷垫圈（5），柱型陶瓷垫圈（5）下端套有帽形垫片（6）。

4.根据权利要求1所述的水冷环形热阴极离子源中和器，其特征在于，两个半圆环状钨丝（13）对称分布，形成一个环状的圆结构作为热阴极。

5.根据权利要求1所述的水冷环形热阴极离子源中和器，其特征在于，环状钨丝（13）的直径大于电极固定板（3）的中心孔直径1—2mm。