[发明专利]物理量传感器、电子设备以及移动体

说明书

本发明提供一种具有优异的物理量检测性能的物理量传感器、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具有：可动部(42)，可动部(42)具有第一可动部(421)、和在施加了加速度时所产生的转矩与第一可动部(421)不同的第二可动部(422)，并且以能够绕位于所述第一可动部(421)与所述第二可动部(422)之间的轴J而进行摆动的方式而被支承；第一检测电极(511)，其以与第一可动部(421)对置的方式而被配置；第二检测电极(512)，其以与第二可动部(422)对置的方式而被配置；框状部(6)，其在对可动部(42)进行俯视观察时，以包围可动部(42)的周围的至少一部分的方式而被配置，并且与可动部(42)等电位。

技术领域

本发明涉及一种物理量传感器、电子设备以及移动体。

背景技术

例如，在专利文献1中记载了一种物理量传感器，其具有：可动电极，所述可动电极具有具备较大的可动电极部与较小的可动电极部的可动电极部，并且可动电极以该可动电极部可进行杠杆式摆动的方式而被支承在绝缘基板上；被设置为与较大的可动电极部对置、并在与较大的可动电极部之间形成静电电容的固定电极；被设置为与较小的可动电极部对置、并在与较小的可动电极部之间形成静电电容的固定电极。在这种物理量传感器中，当在厚度方向上施加加速度时，可动电极会根据所施加的加速度的大小而进行摆动，并且由于所述静电电容会对应于该摆动而产生变化，因此能够根据该静电电容的变化而对加速度进行检测。

但是，当与各固定电极连接的配线(与可动电极不同电位的配线)被配置于可动电极部的周围时，由于在该配线与可动电极部之间所产生的静电力，从而施加了加速度时的可动电极部的位移会被阻碍。即，对应于所施加的加速度的可动电极的摆动会被阻碍。因此，会存在物理量检测性能降低的问题。

专利文献1：日本特开2007-298405号公报

发明内容

本发明的目的在于，提供一种具有优异的物理量检测性能的物理量传感器、电子设备以及移动体。

本发明为至少解决上述的课题的一部分而被完成，并能够作为以下的应用例而实现。

应用例一

本应用例的物理量传感器的特征在于，具有：可动电极，其具备可动部，所述可动部具有设置于其一方侧的第一可动部、和设置于其另一方侧并在施加了加速度时所产生的转矩与所述第一可动部不同的第二可动部，并且所述可动部以能够绕位于所述第一可动部以及所述第二可动部之间的轴进行摆动的方式而被支承；第一电极，其以与所述第一可动部对置的方式而被配置；第二电极，其以与所述第二可动部对置的方式而被配置；周围配置部，其在对所述可动部进行俯视观察时，以包围所述可动部的周围的至少一部分的方式而被配置，并与所述可动电极等电位。

以此方式，通过在可动部的周围设置与可动部等电位的周围配置部，从而对可动部的摆动产生影响的不必要的静电力的产生会减少。因此，能够根据所承收的物理量而使可动部进行适宜的摆动(位移)，从而能够发挥优异的物理量检测性能。

应用例二

在本应用例的物理量传感器中优选为，所述周围配置部与所述可动电极电连接。

由此，能够简单地将周围配置部设为与可动电极等电位。

应用例三

在本应用例的物理量传感器中优选为，在对所述可动部进行俯视观察时，所述周围配置部呈将所述可动部的全周包围的框状。

由此，能够进一步减少对可动电极的摆动造成影响的静电力的产生。

应用例四

在本应用例的物理量传感器中优选为，在所述周围配置部上设置有对所述可动部朝向与所述摆动不同的方向的位移进行限制的限制部。