[发明专利]一种无尘室空气供应系统

权利要求书

1.一种无尘室空气供应系统，其特征在于：

包括外室(1)，环绕于无尘室，与无尘室之间形成空气循环空间；

室外空气供给单元，设于外室(1)上端，与空气循环空间连通；

微滤膜过滤器(2)和至少一个循环风机(3)，均设于无尘室和外室(1)之间，其中微滤膜过滤器(2)与无尘室内部连通；

所述室外空气供给单元与外室(1)之间设有进气阀(43)；

所述微滤膜过滤器(2)包括板状的金属间化合物微滤膜，金属间化合物微滤膜包括钛基以及覆盖在钛基上的多孔材料，钛基的表层为纳米二氧化钛膜；空气循环空间内还设有紫外光发生器(5)，紫外光发生器(5)位于微滤膜过滤器(2)附近。

2.根据权利要求1所述的空气供应系统，其特征在于：所述室外空气供给单元两端设有进气口和出气口，内部设有进气风机(42)，进气口处设有初效空气过滤器(41)，进气阀(43)设于出气口处。

3.根据权利要求2所述的空气供应系统，其特征在于：所述空气供应系统还包括控制模块和监测模块，所述监测模块设于无尘室内，用于监测无尘室内空气质量，控制模块与监测模块、进气风机(42)和进气阀(43)相连，用于接收监测模块的数据信号并控制进气风机(42)的开关以及进气阀(43)的开闭。

4.根据权利要求1所述的空气供应系统，其特征在于：所述循环风机(3)的数量为二，分布在无尘室的左右两侧。