[发明专利]半导体元件影像测试装置及其测试设备有效
| 申请号： | 201510534099.8 | 申请日： | 2015-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN106483126B | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 吴国荣;梁兴岳 | 申请（专利权）人： | 京元电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;H01L21/66 |
| 代理公司： | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 中国台湾;TW |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体 元件 影像 测试 装置 及其 设备 | ||
【权利要求书】：
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