[发明专利]一种金属间化合物腐蚀剂及Cu6Sn5金属间化合物三维形貌显示方法

权利要求书

1.一种金属间化合物腐蚀剂，其特征在于，该金属间化合物腐蚀剂由草酸和以下体积份数的组分组成：盐酸2～6份、硝酸2～6份、醋酸5～9份、水70～90份；其中每1mL盐酸加入2～7mg的草酸。

2.根据权利要求1所述金属间化合物腐蚀剂，其特征在于，所述盐酸的质量浓度≥36％；所述硝酸的质量浓度≥62％；所述醋酸的质量浓度≥98％；所述草酸的质量浓度≥98％。

3.一种利用权利要求1所述金属间化合物腐蚀剂的Cu₆Sn₅金属间化合物三维形貌显示方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)将Cu₆Sn₅金属间化合物浸入金属间化合物腐蚀剂中，超声振荡1～10min，取出，得腐蚀Cu₆Sn₅金属间化合物；

2)将步骤1)所述腐蚀Cu₆Sn₅金属间化合物浸入质量浓度为2％的NaHCO₃溶液中，超声振荡终止反应，后清洗至中性，干燥即得。

4.根据权利要求3所述Cu₆Sn₅金属间化合物三维形貌显示方法，其特征在于，步骤1)所述超声振荡的功率为4kW。

5.根据权利要求3所述Cu₆Sn₅金属间化合物三维形貌显示方法，其特征在于，步骤2)所述超声振荡终止反应的功率为4kW。

6.根据权利要求3所述Cu₆Sn₅金属间化合物三维形貌显示方法，其特征在于，步骤2)所述清洗采用的溶剂为酒精、丙酮或水中的一种。

7.根据权利要求3所述Cu₆Sn₅金属间化合物三维形貌显示方法，其特征在于，步骤2)所述干燥为常压下自然干燥或烘干，所述烘干的温度为40～60℃，时间为2～5min。

8.根据权利要求3所述Cu₆Sn₅金属间化合物三维形貌显示方法，其特征在于，所述Cu₆Sn₅金属间化合物是Sn基软钎料与铜基材料焊点界面区Cu₆Sn₅金属间化合物。

9.根据权利要求3所述Cu₆Sn₅金属间化合物三维形貌显示方法，其特征在于，所述Cu₆Sn₅金属间化合物是由Sn基软钎料熔化，在铜基材料上进行铺展或钎焊得到。

10.根据权利要求8或9所述Cu₆Sn₅金属间化合物三维形貌显示方法，其特征在于，所述铜基材料为铜板、铜片或铜带中的一种；所述Sn基软钎料为Sn-3.8Ag-0.7Cu或Sn-2.5Ag-0.7Cu-0.1RE-0.1Ni中的一种。