[发明专利]一种超声波镜片清洗装置在审
申请号: | 201510534559.7 | 申请日: | 2015-08-27 |
公开(公告)号: | CN105057273A | 公开(公告)日: | 2015-11-18 |
发明(设计)人: | 刘思佳 | 申请(专利权)人: | 苏州凯锝微电子有限公司 |
主分类号: | B08B3/12 | 分类号: | B08B3/12;B08B3/10;B08B11/00 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董建林 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 超声波 镜片 清洗 装置 | ||
1.一种超声波镜片清洗装置,其特征是,包括清洗槽,所述清洗槽由外槽和内槽组成,所述内槽为V字形结构,外槽和内槽之间设置有超声装置和加热装置,所述超声装置包括超声波换能器和超声波发生器,超声波换能器设置于V字形槽底两侧,所述清洗槽内对称设置有挡板,所述镜片架放置于挡板上,所述镜片架上设有多个固定架,固定架设有多个镜片夹具,控制器分别连接超声装置和加热装置。
2.根据权利要求1所述的一种超声波镜片清洗装置,其特征是,清洗槽上方连接废气净化装置,所述废气净化装置包括废气罩、废气风机和过滤网,所述废气风机通过废气管与所述废气罩连接,所述废气罩设置于清洗槽槽体上端,过滤网设置于废气罩内部,控制器连接废气净化装置。
3.根据权利要求2所述的一种超声波镜片清洗装置,其特征是,所述过滤网为活性炭过滤网或HEPA高效过滤网。
4.根据权利要求1所述的一种超声波镜片清洗装置,其特征是,所述加热装置由发热体、温控仪和温度传感器组成,所述发热体设置于V字形槽底两侧,所述发热体与温控仪连接,所述内槽内部还设置有温度传感器,所述温度传感器与温控仪连接。
5.根据权利要求4所述的一种超声波镜片清洗装置,其特征是,发热体为盘管式或蛇形管式电热管。
6.根据权利要求4所述的一种超声波镜片清洗装置,其特征是,所述温度传感器通过补偿导线与所述温控仪连接。
7.根据权利要求1所述的一种超声波镜片清洗装置,其特征是,所述V字形结构槽底设置有排污口,所述排污口设置有阀门。
8.根据权利要求1所述的一种超声波镜片清洗装置,其特征是,清洗槽的顶部边缘的外侧设有U形槽,所述U形槽的最外围的侧壁高度高于所述清洗槽顶部边缘高度,所述U形槽的槽底设有排水口。
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