[发明专利]激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，其具有：被加工物保持构件，其保持被加工物；以及激光光线照射构件，其对由该被加工物保持构件保持的被加工物照射激光光线，其特征在于，

该激光光线照射构件具有：脉冲激光振荡器，其按照规定的重复频率振荡脉冲激光光线；第一聚光器和第二聚光器，它们对从该脉冲激光振荡器振荡出的脉冲激光光线进行会聚；以及分支构件，其配设在该脉冲激光振荡器与该第一聚光器和该第二聚光器之间，将从该脉冲激光振荡器振荡出的脉冲激光光线朝向该第一聚光器和该第二聚光器交替地分支，

该分支构件具有光弹性调制器，该光弹性调制器由压电元件和合成石英一体地形成，对该压电元件施加与该合成石英的固有振动频率对应的频率的高频电压，从而使激光光线的偏振面交替地调制成0度和90度。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，

该分支构件从该脉冲激光振荡器侧朝向该第一聚光器和该第二聚光器侧由第一1/2波长板、该光弹性调制器、第二1/2波长板以及偏振分束器构成，

设该光弹性调制器的频率为f_PEM，设该脉冲激光振荡器的重复频率为f_Laser，设m为自然数，通过下述公式求出重复频率f_Laser，

fLaser=4fPEM(2m+1)[Hz].]]>

3.根据权利要求2所述的激光加工装置，其中，

合成石英的固有振动频率是50kHz，当代入f_PEM＝50kHz，且代入m＝0、1、2、3、4、……时，该脉冲激光振荡器的重复频率作为f_Laser＝200kHz、40kHz、8kHz、1.6kHz、320Hz、64Hz被求出。

4.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，

该分支构件从该脉冲激光振荡器侧朝向该第一聚光器和该第二聚光器侧由1/4波长板、该光弹性调制器、1/2波长板以及偏振分束器构成，

设该光弹性调制器的频率为f_PEM，设该脉冲激光振荡器的重复频率为f_Laser，设m为自然数，通过下述公式求出重复频率f_Laser，

fLaser=2fPEM(2m+1)[Hz].]]>

5.根据权利要求4所述的激光加工装置，其中，

合成石英的固有振动频率是50kHz，当代入f_PEM＝50kHz，且代入m＝0、1、2、3、4、……时，该脉冲激光振荡器的重复频率作为f_Laser＝100kHz、20kHz、4kHz、800Hz、160Hz、32Hz被求出。