[发明专利]硅粉回收方法和硅粉回收装置

权利要求书

1.一种硅粉回收装置，其从包含硅粉的废液中回收硅粉，所述包含硅粉的废液是从使磨石与硅晶片抵接来进行加工的加工装置排出而贮存于液槽的，其特征在于，

所述硅粉回收装置包含：

阳极部和阴极部，使它们接触从该加工装置排出的该废液；

回收单元，其包括下方开口的回收容器，在该回收容器的上表面设置有能够供该阳极板通过的第一狭缝，在该回收容器的侧面设置有用于向该回收容器内吹入氮气的吹入口，在该回收容器内设置有支承板部，该支承板部从该回收容器的内侧侧面与该回收容器的该上表面平行地延伸，并且在该支承板部上的与该第一狭缝对应的位置上形成有供该阳极板通过的第二狭缝；

刮取单元，其设置在该回收容器内的该第一狭缝附近，并包括一对刮取板，该一对刮取板能够在该第二狭缝上进退，从而利用该一对刮取板夹住该阳极部而从该阳极部刮取附着于该阳极部的硅溶液，该硅溶液包含该硅粉和该废液；以及

干燥单元，其配置在该回收容器的下方侧，且具有输送带和加热器部，该输送带将由该刮取单元刮取的该硅溶液向收集盒输送，该加热器部在该输送带进行输送的过程中对该硅溶液进行加热而使该硅溶液干燥，并且干燥得到的硅粉在该输送带上作为块而残留，

收集由该干燥单元干燥后的该硅粉，

通过从该吹入口吹入氮气，使该回收容器、该干燥单元、该收集盒处于氮气氛围。

2.一种利用权利要求1所述的硅粉回收装置的硅粉回收方法，对使用加工液和磨粒来磨削固体的硅的加工装置排出的包含硅粉的废液进行回收，去除该废液的水分并回收该硅粉，其特征在于，所述硅粉回收方法包含如下的工序：

附着工序，使阳极部和阴极部接触该废液，对该阳极部和该阴极部通电而使该硅粉附着于带正电的该阳极部；

回收工序，将该阳极部从该废液提起，利用一对刮取板夹住该阳极部而从该阳极部刮取并回收附着于该阳极部的硅溶液，其中，该硅溶液包含该硅粉和该废液；以及

干燥工序，在该干燥单元的该输送带对在该回收工序中从该阳极部刮取的硅溶液进行输送的过程中，利用该干燥单元的该加热器部进行加热而使该硅溶液的水分干燥，干燥得到的硅粉在该输送带上作为块而残留；以及

收集工序，收集由该干燥单元干燥后的该硅粉，

通过吹入氮气，使该回收工序、该干燥工序和收集工序处于氮气氛围。