[发明专利]执行EDS分析的方法和系统

权利要求书

1.一种EDS分析的方法，所述方法包括：

-提供第一材料集合和相关材料数据(101)，其中，每种材料数据表示相关材料的特性；

-将电子束引导至样品上的多个位置，并记录与所述多个位置中的每个位置相关的能量色散x射线光谱(103)；

通过下列方式处理所述多个位置中的每个位置(105)：

-如果满足第一相似性准则(133)，则将所述第一材料集合中的材料分配给处理的位置(105)，所述第一相似性准则(133)基于与所述处理的位置相关的能量色散x射线光谱和第一材料集合的数据来确定；以及然后

-确定未分配有所述第一材料集合中的材料的第一位置组(137)；以及

-通过如下方式处理所述第一位置组中的位置(113)：

-确定第二位置组(152)，所述第二位置组(152)分配有所述第一材料集合中的材料并满足相对于所述处理的位置的第一接近度准则；以及

-基于分配给所述第二位置组中的位置的材料，将所述第一材料集合中的至少一种材料分配给所述处理的位置(159)。

2.如权利要求1所述的方法，其中，基于分配给所述第二位置组中的位置的材料，将所述第一材料集合中的至少一种材料分配给所述处理的位置包括：

-基于所述处理的位置与所述第二位置组中的每个位置的比较，从所述第二位置组中选择一个位置，其中，将分配给所选择位置的材料分配给所述处理的位置。

3.如权利要求2所述的方法，其中，从所述第二位置组中选择位置包括：从所述第二位置组中选择具有与所述处理的位置最高相似性的位置。

4.如权利要求2所述的方法，其中，从所述第二位置组中选择位置包括：

基于与分配给所述位置的材料相关的材料数据确定所述第二位置组中的每个位置的主元素；以及

基于与所述处理的位置相关的能量色散x射线光谱确定与所述处理的位置相关的元素组成，其中，所述元素组成包括主元素，

其中，选择具有与被所述处理位置相同的主元素的位置。

5.如权利要求1至4任一项所述的方法，其中，基于分配给所述第二位置组中的位置的材料将材料分配给所述处理的位置包括：

-从所述第二位置组中选择多个位置；以及

-设定多种材料的假定混合物，并且如果满足基于与所述处理的位置相关的能量色散x射线光谱和所述多个位置的材料的材料数据确定的第二相似性准则，则将所述多种材料中的至少一种材料分配给所述处理的位置。

6.如权利要求5所述的方法，还包括：从所述多种材料中选择所述假定混合物中的具有最高比例的一种材料，并将所选择的材料分配给所述处理的位置。

7.如权利要求5所述的方法，还包括：提供第二材料集合和相关材料数据，其中，每种材料数据表示相关材料的特性，其中，所述第二材料集合具有比所述第一材料集合数量多的材料，并且，

如果不满足所述第二相似性准则，如果满足基于与所述处理的位置相关的能量色散x射线光谱和所述第二材料集合的数据确定的第三相似性准则，则将所述第二材料集合的材料分配给所述处理的位置。

8.如权利要求1至4任一项所述的方法，其中，所述第一材料集合的材料数据包括与所述材料相关的元素组成范围，

其中，处理所述多个位置的每个位置包括基于与所述处理的位置相关的能量色散x射线光谱确定与所述处理的位置相关的元素组成，以及

其中，对于所述第一材料集合的材料，如果与所述处理的位置相关的元素组成落入该材料的元素组成范围内，则满足所述第一相似性准则。

9.如权利要求1至4任一项所述的方法，其中，所述第一材料集合的材料的材料数据包括材料的样品x射线光谱，其中，对于所述第一材料集合的材料，如果与所述处理的位置相关的能量色散x射线光谱和该材料的样品x射线光谱之间的第一相似性测度超过第一相似性阈值，则满足所述第一相似性准则。