[发明专利]一种高集成模块化射频SIP的封装方法在审
申请号: | 201510542760.X | 申请日: | 2015-08-31 |
公开(公告)号: | CN105206593A | 公开(公告)日: | 2015-12-30 |
发明(设计)人: | 金珠;刘毅;陈依军;黄智;王栋;边丽菲;王阔 | 申请(专利权)人: | 成都嘉纳海威科技有限责任公司 |
主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L23/49;H01L25/065 |
代理公司: | 成都正华专利代理事务所(普通合伙) 51229 | 代理人: | 李蕊 |
地址: | 610016 四川省成都市*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 集成 模块化 射频 sip 封装 方法 | ||
1.一种高集成模块化射频SIP的封装方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1:薄膜电路片设计,并利用异丙醇溶液对封装管壳和电路片进行超声波清洗;
S2:根据电路装配图,将若干电子元件、射频芯片和所述薄膜电路片粘接在封装管壳内;
S3:利用25um的金丝将所述射频芯片和薄膜电路片焊接在一起,所述射频芯片和薄膜电路片之间的金丝层弧形;
S4:采用充氮气的平行缝焊对封装管壳进行封盖,并对其密封性进行检测。
2.根据权利要求1所述的高集成模块化射频SIP的封装方法,其特征在于,所述步骤S1中的清洗时间为10分钟-20分钟。
3.根据权利要求1所述的高集成模块化射频SIP的封装方法,其特征在于,所述步骤S2具体包括以下步骤:
S21:根据电路装配图,在封装管壳的相应位置涂覆一层与所述电子元件、射频芯片和所述薄膜电路片等面积的导电胶;
S22:将所述电子元件、射频芯片和薄膜电路片贴合在封装管壳的相应位置后,将封装管壳放入高温烘箱进行烘烤50分钟-60分钟;
S23:取出封装管壳,检查粘接情况。
4.根据权利要求3所述的高集成模块化射频SIP的封装方法,其特征在于,所述封装管壳上涂覆的导电胶的厚度为0.05mm-0.12mm。
5.根据权利要求3所述的高集成模块化射频SIP的封装方法,其特征在于,所述高温烘箱内的烘烤温度为120°C。
6.根据权利要求1所述的高集成模块化射频SIP的封装方法,其特征在于,所述金丝的弧高为150um-200um。
7.根据权利要求1所述的高集成模块化射频SIP的封装方法,其特征在于,所述步骤S4所述的密封性检测步骤为:
S41:将密封腔体放入备压法辅助检漏台的压力容器中,充入氦气加压,压力为0.52MPa,保压时间为4小时;
S42:密封腔体取出后,进行粗检漏测试;将加压后的密封腔体完全浸入异丙醇中,观察是否有气泡冒出;若有气泡产生,则证明腔体不密封,并且漏率很大;反之则证明腔体密封;
S43:对密封腔体进行细检漏测试;将腔体放入氦质谱检漏仪的真空容器内,并开始抽气,若氦质谱检漏仪检测的氦气流量低于1×10-3pa·cm3/s,则证明合格;反之则不合格。
8.根据权利要求1所述的高集成模块化射频SIP的封装方法,其特征在于,所述封装管壳采用的是陶瓷管壳。
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