[发明专利]用于产生高次谐波的平面波导装置及安装方法

权利要求书

1.一种用于产生高次谐波的平面波导装置，其特征在于，包括第一平面玻璃、第二平面玻璃、气体密封装置、充气装置；

所述第一平面玻璃与第二平面玻璃平行放置且二者中间留有间距为几百微米的缝隙；

所述气体密封装置包括第一密封板和第二密封板，用于密封缝隙；第一密封板固定在第一平面玻璃和第二平面玻璃的上表面，第一密封板上开有与缝隙相通的充气通道；第二密封板固定在第一平面玻璃和第二平面玻璃的下表面；

所述充气装置固定在第一密封板上，通过充气通道向第一平面玻璃和第二平面玻璃构成的缝隙内充入惰性气体；

飞秒激光聚焦后进入到第一平面玻璃和第二平面玻璃构成的缝隙中并以掠入射的方式向前传播，与惰性气体作用产生高次谐波；

所述平面波导装置还包括平面玻璃固定装置、俯仰调节机构、位移调节机构和固定板；

所述平面玻璃固定装置包括第一平面玻璃固定装置和第二平面玻璃固定装置；

所述俯仰调节机构包括第一光学镜架和第二光学镜架，用于调节第一平面玻璃与第二平面玻璃的俯仰；

所述位移调节机构包括第一平移台和第二平移台，用于调节第一平面玻璃与第二平面玻璃构成的缝隙的间距；

所述第一平面玻璃固定在第一平面玻璃固定装置上，第一平面玻璃固定装置固定在第一光学镜架的俯仰转动轴上，第一光学镜架固定在第一平移台上；所述第二平面玻璃固定在第二平面玻璃固定装置上，第二平面玻璃固定装置固定在第二光学镜架的俯仰转动轴上，第二光学镜架固定在第二平移台上；所述第一平移台和第二平移台位于固定板上。

2.如权利要求1所述的用于产生高次谐波的平面波导装置，其特征在于，所述第一平面玻璃和第二平面玻璃的主要成分为二氧化硅，表面经过精抛光处理。

3.如权利要求1所述的用于产生高次谐波的平面波导装置，其特征在于，所述第一平面玻璃和第二平面玻璃构成的缝隙的间距为100um-300um。

4.一种如权利要求1所述的用于产生高次谐波的平面波导装置的安装方法，其特征在于，该方法包括：

步骤一：安装第一平面玻璃和第二平面玻璃；

步骤二：调节第一平面玻璃和第二平面玻璃构成缝隙的间距；

步骤三：调节第一平面玻璃和第二平面玻璃平行；

步骤四：密封缝隙，向缝隙内充入惰性气体。

5.如权利要求4所述的用于产生高次谐波的平面波导装置的安装方法，其特征在于，所述步骤一包括：

首先将第一平面玻璃放置在第一平面玻璃固定装置中间，利用第一平面玻璃固定装置夹紧第一平面玻璃，使其固定不动；再将第一平面玻璃固定装置与第一光学镜架固定连接；所述第二平面玻璃按照与第一平面玻璃相同的方法进行安装。

6.如权利要求4所述的用于产生高次谐波的平面波导装置的安装方法，其特征在于，所述步骤二包括：

首先将带有第一平面玻璃的第一光学镜架安装在第一平移台上，将带有第二平面玻璃的第二光学镜架安装在第二平移台上；然后通过第一平移台与第二平移台来调节第一平面玻璃与第二平面玻璃构成缝隙的间距，获得最佳的波导效应；最后再将第一平移台和第二平移台固定在固定板上。

7.如权利要求4所述的用于产生高次谐波的平面波导装置的安装方法，其特征在于，所述步骤三包括：

利用氦氖激光和光阑来调节第一平面玻璃和第二平面玻璃平行：

首先让氦氖激光中心穿过两个等高的光阑；然后让第一光阑关到最小，第二光阑完全打开；经过光阑后的氦氖激光先后经过第一平面玻璃、第二平面玻璃的四个平面，激光在经过这些平面时会有反射光，通过调节第一光学镜架和第二光学镜架让形成缝隙的两个平面的反射光也通过光阑，从而保证第一平面玻璃和第二平面玻璃构成缝隙的两个平面平行。

8.如权利要求4所述的用于产生高次谐波的平面波导装置的安装方法，其特征在于，所述步骤四包括：

调节完第一平面玻璃和第二平面玻璃平行后，将第一密封板固定在第一平面玻璃和第二平面玻璃的上表面，第一密封板上设有充气通道；第二密封板固定在第一平面玻璃和第二平面玻璃的下表面；然后充气装置固定在第一密封板的充气通道上方，通过充气通道向缝隙内充入惰性气体。

9.如权利要求4所述的用于产生高次谐波的平面波导装置的安装方法，其特征在于，所述惰性气体包括氦气，氖气，氩气，氪气，氙气中的一种或多种。