[发明专利]一种对ITO膜进行刻蚀的方法有效
| 申请号： | 201510544292.X | 申请日： | 2014-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN105224125B | 公开（公告）日： | 2017-11-14 |
| 发明（设计）人： | 韩秋玉 | 申请（专利权）人： | 深圳市鑫富艺实业有限公司 |
| 主分类号： | G06F3/041 | 分类号： | G06F3/041;C09K13/00 |
| 代理公司： | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙)11427 | 代理人： | 陈娟 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市龙华区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 ito 进行 刻蚀 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种对ITO膜进行刻蚀的方法，包括如下操作：
向表面为ITO膜构成的板材表面均匀涂覆一层感光胶膜，将涂好感光胶膜的板材烘干冷却至室温，然后对板材进行曝光和显影处理，最后利用刻蚀液对板材进行刻蚀处理，蚀刻结束后，进行清洗和干燥；
刻蚀液组成为：1.5重量份的1，2-乙二磺酸，0.6重量份的三氟甲基磺酸，2.5重量份的亚乙基二胺四甲叉膦酸钠，7重量份的草酸，88.4重量份的蒸馏水。
2.如权利要求1所述的对ITO膜进行刻蚀的方法，其特征在于：板材的基材为玻璃板或PET板。
3.如权利要求1所述的对ITO膜进行刻蚀的方法，其特征在于：刻蚀处理的温度为23～25℃。
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