[发明专利]用于激光系统的聚焦物镜的能移动的重量补偿悬架的装置

权利要求书

1.一种用于激光系统的聚焦物镜的能移动的重量补偿悬架的装置，包括：

力产生装置，该力产生装置用于产生抵消所述聚焦物镜的重量的反作用力分量；

传动装置，所述传动装置为摇杆的形式，所述摇杆能围绕在所述聚焦物镜的作用点和所述力产生装置的作用点之间的转动轴线旋转，所述聚焦物镜通过枢轴颈松弛地搁在所述摇杆上，所述摇杆的一端能分离地连接到所述力产生装置，所述摇杆的另一端具有用于能分离地与所述聚焦物镜联接的轴承座，所述轴承座由所述摇杆的侧向制成的凹槽形成，所述凹槽的槽底形成所述枢轴颈的支撑表面，所述枢轴颈侧向远离所述聚焦物镜并伸入所述凹槽中，所述枢轴颈能够通过沿所述凹槽的槽底滚动或滑动而移动，以便保持所述聚焦物镜的光学轴线的方位，该传动装置将所述反作用力分量传递到所述聚焦物镜上并允许所述聚焦物镜的向上/向下补偿运动；和

引导装置，该引导装置用于能移动地引导所述聚焦物镜，以使在所述聚焦物镜的向上/向下补偿运动的情况下，保持所述聚焦物镜的光学轴线的方位。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述力产生装置包括配重，该配重的质量用于产生至少部分所述反作用力分量。

3.根据权利要求1所述的装置，其中所述力产生装置在所述摇杆上的至少一个力作用点与所述摇杆的转动轴线的距离能被调节。

4.根据权利要求1所述的装置，其中所述聚焦物镜被支撑在所述摇杆上，以使所述聚焦物镜能围绕在一距离处的平行于所述摇杆的转动轴线而延伸的旋转轴线相对于所述摇杆旋转。

5.根据权利要求4所述的装置，其中所述聚焦物镜以距所述摇杆的所述转动轴线能变化的距离支撑在所述摇杆上。

6.根据权利要求1所述的装置，其中所述引导装置为直线引导件形式，具有相对于所述聚焦物镜的所述光学轴线的平行的引导方向。

7.根据权利要求6所述的装置，其中所述引导装置具有引导结构，所述引导结构在所述聚焦物镜的向上/向下补偿运动的情况下阻止所述聚焦物镜横切所述光学轴线的运动。