[发明专利]常压炉管生长的薄膜厚度的控制方法

权利要求书

1.一种常压炉管生长的薄膜厚度的控制方法，其特征在于，包括：

检测得到全年大气压力变化趋势；

将所述全年大气压力变化趋势分成若干不同的压力范围区间；不同的压力范围区间在选取的时候有一定的重叠；

然后，根据常压炉管生长的薄膜厚度与全年的大气压力的变化关系来确定：每个所述压力范围区间内薄膜的生长时间，以使薄膜达到目标厚度；其中，通过分析薄膜的厚度与大气压力的关系拟合成的线性关系图，根据实际的大气压力，对应得到线性关系图中对应的薄膜厚度，该薄膜厚度和目标厚度具有差异，根据目标厚度和该薄膜厚度的差异来计算在实际大气压力下达到目标厚度所需的生长时间；

按照所设定的时间在常压炉管中生长薄膜。

2.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，将所述全年大气压力变化趋势按照从小到大的顺序分成三个压力范围区间。

3.根据权利要求2所述的控制方法，其特征在于，所述三个压力范围区间分别为740～756torr，750～767torr，以及760～780torr。

4.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述薄膜为栅极氧化层。

5.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，按照所设定的时间在常压炉管中生长薄膜后，所得到的薄膜的厚度在全年大气压力变化下的差异小于0.1nm。

6.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，以一定的时间间隔来多次检测得到全年大气压力变化趋势。