[发明专利]一种配向膜的制作方法和系统有效
申请号: | 201510547524.7 | 申请日: | 2015-08-31 |
公开(公告)号: | CN105044989B | 公开(公告)日: | 2018-02-16 |
发明(设计)人: | 程薇 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/1337 | 分类号: | G02F1/1337;G02F1/13 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙)44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 制作方法 系统 | ||
1.一种配向膜的制作方法,其特征在于,用于在基板上形成配向膜,包括如下步骤:
在基板上形成配向材料膜层;
将所述基板放置在可在水平方向上移动的承载台上,以使所述基板在配向过程中可随所述承载台在水平方向上移动;
确定对所述配向材料膜层进行光线照射的第一照射角;所述第一照射角为欲照射的光线与所述基板之间的第一夹角,该第一夹角为锐角;
触发所述承载台在水平方向上移动,并利用线偏极紫外光按照所述第一照射角对所述配向材料膜层进行照射,以形成具有配向功能的配向膜;
其中所述确定对所述配向材料膜层进行光线照射的第一照射角的步骤包括:
测量所述配向材料膜层上不同区域对应的配向材料膜层的厚度;
根据前述测量的结果确定对所述配向材料膜层进行光线照射的第一照射角。
2.如权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述测量所述配向材料膜层上不同区域对应的配向材料膜层的厚度的步骤包括:
通过对所述配向材料膜层发射激光,来测量所述配向材料膜层上不同区域对应的配向材料膜层的厚度。
3.如权利要求1或2所述的制作方法,其特征在于,在利用线偏极紫外光,按照第一照射角对在水平方向上移动的所述配向材料膜层进行照射之后,所述制作方法还包括:
再次触发所述承载台在水平方向上移动,并利用线偏极紫外光按照第二照射角再次对所述配向材料膜层进行照射;所述第二照射角为欲照射的光线与所述基板之间的第二夹角,所述第二夹角与所述第一夹角的开口方向相反,且角度相等。
4.如权利要求3所述的制作方法,其特征在于,所述基板为阵列基板;所述阵列基板包括:
像素电极层,包括多个梳齿状结构的像素电极;
所述在基板上形成配向材料膜层的步骤包括:
在所述像素电极层上形成配向材料膜层。
5.如权利要求3所述的制作方法,其特征在于,所述基板为彩膜基板;所述彩膜基板包括:透明导电层和位于所述透明导电层上的感光间隙子;
所述在基板上形成配向材料膜层的步骤包括:
在所述感光间隙子上形成配向材料膜层。
6.一种配向膜的制作系统,其特征在于,用于在基板上形成配向膜,包括:
可在水平方向上移动的承载台,用于承载形成有配向材料膜层的基板,带动所述基板在水平方向上移动;
光照射器,位于所述承载台上方,用于发射线偏极紫外光对在水平方向上移动的所述配向材料膜层进行照射,以形成具有配向功能的配向膜;
激光检测器,用于通过对所述配向材料膜层发射激光来测量所述配向材料膜层上不同区域对应的配向材料膜层厚度;
控制器,用于根据所述激光检测器的测量结果确定对所述配向材料膜层进行光线照射的第一照射角,以及控制所述光照射器相对所述基板进行倾斜,以使得所述光照射器与所述基板之间的夹角为第一照射角,所述第一照射角为欲照射的光线与所述基板之间的第一夹角,该第一夹角为锐角。
7.如权利要求6所述的制作系统,其特征在于,所述承载台包括:驱动模块、用于放置基板的承载台本体和位于水平方向上的导轨;
所述承载台本体位于所述导轨上;
所述驱动模块,用于驱动所述承载台本体在导轨上滑动。
8.如权利要求6所述的制作系统,其特征在于,所述光照射器包括:光源和偏光元件;
所述光源,用于发射紫外线;
所述偏光元件,用于将所述紫外线转换为线偏极紫外光。
9.如权利要求8所述的制作系统,其特征在于,所述控制器,还用于在所述光照射器对所述配向材料膜层照射完成之后,控制所述光照射器相对所述基板进行倾斜,以使得所述光照射器与所述基板之间的夹角为第二照射角、进而使得按照第二照射角再次对在水平方向上移动的配向材料膜层进行照射;其中,所述第二照射角为欲照射的光线与所述基板之间的第二夹角,所述第二夹角与所述第一夹角的开口方向相反,且角度相等。
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